微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
1期
21-25,36
,共6页
王雨化%侯中宇%回兵%徐东
王雨化%侯中宇%迴兵%徐東
왕우화%후중우%회병%서동
碳纳米管(CNT)%电泳碳纳米管%介质阻挡放电%微机电系统(MEMS)%气敏传感器
碳納米管(CNT)%電泳碳納米管%介質阻擋放電%微機電繫統(MEMS)%氣敏傳感器
탄납미관(CNT)%전영탄납미관%개질조당방전%미궤전계통(MEMS)%기민전감기
研究了一种基于碳纳米管尖端的直流介质阻挡放电(DBD)微结构,使用MEMS加工工艺制作出深宽比0.5的侧壁相对的叉指状金属电极,在电极上电泳多壁碳纳米管,采用真空磁控溅射沉积二氧化硅介质层.在大气压下测试了所制备的DBD微结构样品的直流放电基本特性.实验结果表明,在几伏特的直流加载电压下即可检测到纳安量级的放电电流,并且放电电流对人体呼吸和环境气体变化有明显响应.放电起始电压小于10 V并显现出明显的抑制电流自由增长的DBD放电特征,但电流下降持续时间达102～103S量级,大于常规常压DBD时间,显示出碳纳米管尖端的特异效应.
研究瞭一種基于碳納米管尖耑的直流介質阻擋放電(DBD)微結構,使用MEMS加工工藝製作齣深寬比0.5的側壁相對的扠指狀金屬電極,在電極上電泳多壁碳納米管,採用真空磁控濺射沉積二氧化硅介質層.在大氣壓下測試瞭所製備的DBD微結構樣品的直流放電基本特性.實驗結果錶明,在幾伏特的直流加載電壓下即可檢測到納安量級的放電電流,併且放電電流對人體呼吸和環境氣體變化有明顯響應.放電起始電壓小于10 V併顯現齣明顯的抑製電流自由增長的DBD放電特徵,但電流下降持續時間達102～103S量級,大于常規常壓DBD時間,顯示齣碳納米管尖耑的特異效應.
연구료일충기우탄납미관첨단적직류개질조당방전(DBD)미결구,사용MEMS가공공예제작출심관비0.5적측벽상대적차지상금속전겁,재전겁상전영다벽탄납미관,채용진공자공천사침적이양화규개질층.재대기압하측시료소제비적DBD미결구양품적직류방전기본특성.실험결과표명,재궤복특적직류가재전압하즉가검측도납안량급적방전전류,병차방전전류대인체호흡화배경기체변화유명현향응.방전기시전압소우10 V병현현출명현적억제전류자유증장적DBD방전특정,단전류하강지속시간체102～103S량급,대우상규상압DBD시간,현시출탄납미관첨단적특이효응.
