电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2012年
3期
71-76
,共6页
张冬至%夏伯锴%王凯%童俊
張鼕至%夏伯鍇%王凱%童俊
장동지%하백개%왕개%동준
碳纳米管%微纳器件%综述%微纳传感器%制造工艺%纳米制造
碳納米管%微納器件%綜述%微納傳感器%製造工藝%納米製造
탄납미관%미납기건%종술%미납전감기%제조공예%납미제조
综述了近年来碳纳米管在微纳传感器、纳米发电机、纳米执行器、纳米电子器件、纳米收音机与薄膜扬声器等方面取得的瞩目成果及典型应用,介绍了基于碳纳米管的微纳机电器件的制造工艺、器件性能及其研究进展,指出了碳纳米管基微纳机电器件在多元化发展、工艺多样化、材料复合化、产业化工程等方面的发展趋势.
綜述瞭近年來碳納米管在微納傳感器、納米髮電機、納米執行器、納米電子器件、納米收音機與薄膜颺聲器等方麵取得的矚目成果及典型應用,介紹瞭基于碳納米管的微納機電器件的製造工藝、器件性能及其研究進展,指齣瞭碳納米管基微納機電器件在多元化髮展、工藝多樣化、材料複閤化、產業化工程等方麵的髮展趨勢.
종술료근년래탄납미관재미납전감기、납미발전궤、납미집행기、납미전자기건、납미수음궤여박막양성기등방면취득적촉목성과급전형응용,개소료기우탄납미관적미납궤전기건적제조공예、기건성능급기연구진전,지출료탄납미관기미납궤전기건재다원화발전、공예다양화、재료복합화、산업화공정등방면적발전추세.
