光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
7期
1542-1550
,共9页
唐永龙%张之敬%张晓峰%孙媛
唐永龍%張之敬%張曉峰%孫媛
당영룡%장지경%장효봉%손원
微装配%正交对准%显微视觉%人机协同
微裝配%正交對準%顯微視覺%人機協同
미장배%정교대준%현미시각%인궤협동
针对平板类零件微装配系统设计过程中面临的问题,提出采用正交光学对准机构来实现用人机协同的微装配系统对微小型平板类结构件的高精度装配,并分析计算高精度对准机构模块产生的误差.建立了基于显微机器视觉及正交光学对准的微装配系统平台,用本文提出的方法进行了微装配实验,结果显示本装配系统在装配的一致性与装配效率方面有较大的改善与提高.提出的光学对准方法可有效地用于平板结构的硅微MEMS器件和非硅MEMS器件等集成的复杂微小型异构机电系统的装配,设计的平台具有很好的开放性和可移植性.棱镜正交对准机构产生0.001°的角度误差时,对准理论偏差小于0.98 μm,实际实验中微装配平台系统装配精度小于5μm,满足平板类微小型结构件装配一般精度需求.
針對平闆類零件微裝配繫統設計過程中麵臨的問題,提齣採用正交光學對準機構來實現用人機協同的微裝配繫統對微小型平闆類結構件的高精度裝配,併分析計算高精度對準機構模塊產生的誤差.建立瞭基于顯微機器視覺及正交光學對準的微裝配繫統平檯,用本文提齣的方法進行瞭微裝配實驗,結果顯示本裝配繫統在裝配的一緻性與裝配效率方麵有較大的改善與提高.提齣的光學對準方法可有效地用于平闆結構的硅微MEMS器件和非硅MEMS器件等集成的複雜微小型異構機電繫統的裝配,設計的平檯具有很好的開放性和可移植性.稜鏡正交對準機構產生0.001°的角度誤差時,對準理論偏差小于0.98 μm,實際實驗中微裝配平檯繫統裝配精度小于5μm,滿足平闆類微小型結構件裝配一般精度需求.
침대평판류령건미장배계통설계과정중면림적문제,제출채용정교광학대준궤구래실현용인궤협동적미장배계통대미소형평판류결구건적고정도장배,병분석계산고정도대준궤구모괴산생적오차.건립료기우현미궤기시각급정교광학대준적미장배계통평태,용본문제출적방법진행료미장배실험,결과현시본장배계통재장배적일치성여장배효솔방면유교대적개선여제고.제출적광학대준방법가유효지용우평판결구적규미MEMS기건화비규MEMS기건등집성적복잡미소형이구궤전계통적장배,설계적평태구유흔호적개방성화가이식성.릉경정교대준궤구산생0.001°적각도오차시,대준이론편차소우0.98 μm,실제실험중미장배평태계통장배정도소우5μm,만족평판류미소형결구건장배일반정도수구.
