人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
2期
284-289
,共6页
潘园园%沈鸿烈%张磊%吴天如%江丰
潘園園%瀋鴻烈%張磊%吳天如%江豐
반완완%침홍렬%장뢰%오천여%강봉
灯丝温度%氢化纳米晶硅%热丝化学气相沉积%微结构%电学性能
燈絲溫度%氫化納米晶硅%熱絲化學氣相沉積%微結構%電學性能
등사온도%경화납미정규%열사화학기상침적%미결구%전학성능
本文采用热丝化学气相沉积法在不同灯丝温度(1650 - 1850℃)下沉积了p型氢化纳米晶硅薄膜,研究了灯丝温度对薄膜微结构、光学性能及电学性能的影响.结果表明,随着灯丝温度的升高,薄膜的晶化率先增大后略微减小,最大值是55.5％.载流子浓度和霍尔迁移率先分别从5×1017 cm-3和0.27 cm2/V·s增加到1.32×1020 cm-3和0.43 cm2/V·s后略微减小,同时电导率从0.02 S/cm显著增加到8.95 S/cm,而电导激活能则从271.5 meV急剧减小至25 meV.
本文採用熱絲化學氣相沉積法在不同燈絲溫度(1650 - 1850℃)下沉積瞭p型氫化納米晶硅薄膜,研究瞭燈絲溫度對薄膜微結構、光學性能及電學性能的影響.結果錶明,隨著燈絲溫度的升高,薄膜的晶化率先增大後略微減小,最大值是55.5％.載流子濃度和霍爾遷移率先分彆從5×1017 cm-3和0.27 cm2/V·s增加到1.32×1020 cm-3和0.43 cm2/V·s後略微減小,同時電導率從0.02 S/cm顯著增加到8.95 S/cm,而電導激活能則從271.5 meV急劇減小至25 meV.
본문채용열사화학기상침적법재불동등사온도(1650 - 1850℃)하침적료p형경화납미정규박막,연구료등사온도대박막미결구、광학성능급전학성능적영향.결과표명,수착등사온도적승고,박막적정화솔선증대후략미감소,최대치시55.5％.재류자농도화곽이천이솔선분별종5×1017 cm-3화0.27 cm2/V·s증가도1.32×1020 cm-3화0.43 cm2/V·s후략미감소,동시전도솔종0.02 S/cm현저증가도8.95 S/cm,이전도격활능칙종271.5 meV급극감소지25 meV.
