低温物理学报
低溫物理學報
저온물이학보
CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS
2003年
3期
188-192
,共5页
范世雄%许伟伟%刘庆国%吉争鸣%杨森祖%吴培亨
範世雄%許偉偉%劉慶國%吉爭鳴%楊森祖%吳培亨
범세웅%허위위%류경국%길쟁명%양삼조%오배형
Josephson结%耐熔微掩模%双晶结
Josephson結%耐鎔微掩模%雙晶結
Josephson결%내용미엄모%쌍정결
在超导Josephson结的制备过程中,传统的成结方式为对超导薄膜进行化学刻蚀或离子刻蚀,以形成特定图形的结.而刻蚀这一步常常会给结的性能带来负面影响,从而直接导致超导器件性能的下降.本文介绍了一种利用耐融微掩模制备高温超导Josephson结的方法.本方法的特点是:一次成结无需后期刻蚀,利用此方法可以避免刻蚀工艺对超导器件性能的影响,制备高质量的高温超导Josephson结. 本文给出利用此方法制备高温超导YBCO/YSZ双晶结的有关工艺,以及初步的实验结果.
在超導Josephson結的製備過程中,傳統的成結方式為對超導薄膜進行化學刻蝕或離子刻蝕,以形成特定圖形的結.而刻蝕這一步常常會給結的性能帶來負麵影響,從而直接導緻超導器件性能的下降.本文介紹瞭一種利用耐融微掩模製備高溫超導Josephson結的方法.本方法的特點是:一次成結無需後期刻蝕,利用此方法可以避免刻蝕工藝對超導器件性能的影響,製備高質量的高溫超導Josephson結. 本文給齣利用此方法製備高溫超導YBCO/YSZ雙晶結的有關工藝,以及初步的實驗結果.
재초도Josephson결적제비과정중,전통적성결방식위대초도박막진행화학각식혹리자각식,이형성특정도형적결.이각식저일보상상회급결적성능대래부면영향,종이직접도치초도기건성능적하강.본문개소료일충이용내융미엄모제비고온초도Josephson결적방법.본방법적특점시:일차성결무수후기각식,이용차방법가이피면각식공예대초도기건성능적영향,제비고질량적고온초도Josephson결. 본문급출이용차방법제비고온초도YBCO/YSZ쌍정결적유관공예,이급초보적실험결과.
