基于自对准和空气桥工艺的SiGe HBT研究
기우자대준화공기교공예적SiGe HBT연구
Study of the SiGe HBT based on the self-alignment and air-bridge
  • 万方数据
    西安电子科技大学学报（自然科学版） 서안전자과기대학학보（자연과학판）
    JOURNAL OF XIDIAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
    2005年 3期 432-434,488 ,共4页

    刘道广%郝跃%徐世六%李开成%刘玉奎%刘嵘侃%张静%胡辉勇%李培咸%张晓菊%徐学良

    류도엄%학약%서세륙%리개성%류옥규%류영간%장정%호휘용%리배함%장효국%서학량

    自对准%最高振荡频率%SiGe合金材料 自對準%最高振盪頻率%SiGe閤金材料
    자대준%최고진탕빈솔%SiGe합금재료
    采用基区及发射区自对准和空气桥技术,降低了SiGe异质结晶体管器件的基极电阻及集电极和基极之间的结电容,提高了SiGe异质结晶体管器件的最高振荡频率fmax.以分子束外延SiGe材料为基础,研制出了SiGe异质结晶体管器件,取得了fmax为124.2 GHz的结果.
    채용기구급발사구자대준화공기교기술,강저료SiGe이질결정체관기건적기겁전조급집전겁화기겁지간적결전용,제고료SiGe이질결정체관기건적최고진탕빈솔fmax.이분자속외연SiGe재료위기출,연제출료SiGe이질결정체관기건,취득료fmax위124.2 GHz적결과.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문