材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2006年
11期
45-48,52
,共5页
房振乾%胡明%窦雁巍%宗杨%梁继然
房振乾%鬍明%竇雁巍%宗楊%樑繼然
방진건%호명%두안외%종양%량계연
多孔硅%电偶腐蚀法%腐蚀条件%厚度%表面形貌
多孔硅%電偶腐蝕法%腐蝕條件%厚度%錶麵形貌
다공규%전우부식법%부식조건%후도%표면형모
用电偶腐蚀法制备多孔硅,主要研究了铂电极的优化制备工艺以及腐蚀条件对多孔硅厚度的影响,并且结合SEM,AFM等测试手段对所制备的多孔硅的表面形貌进行了分析.实验发现,在相同的腐蚀条件下,多孔硅的厚度随铂电极的厚度以及铂电极与腐蚀硅片的面积比的增大而增大.
用電偶腐蝕法製備多孔硅,主要研究瞭鉑電極的優化製備工藝以及腐蝕條件對多孔硅厚度的影響,併且結閤SEM,AFM等測試手段對所製備的多孔硅的錶麵形貌進行瞭分析.實驗髮現,在相同的腐蝕條件下,多孔硅的厚度隨鉑電極的厚度以及鉑電極與腐蝕硅片的麵積比的增大而增大.
용전우부식법제비다공규,주요연구료박전겁적우화제비공예이급부식조건대다공규후도적영향,병차결합SEM,AFM등측시수단대소제비적다공규적표면형모진행료분석.실험발현,재상동적부식조건하,다공규적후도수박전겁적후도이급박전겁여부식규편적면적비적증대이증대.
