太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2007年
8期
849-851
,共3页
曹一江%王喜莲%王磊%韩爱珍%高元恺
曹一江%王喜蓮%王磊%韓愛珍%高元愷
조일강%왕희련%왕뢰%한애진%고원개
电共沉积%肖特基势垒%GaAs薄膜
電共沉積%肖特基勢壘%GaAs薄膜
전공침적%초특기세루%GaAs박막
应用化学电共沉积法在Ti片、导电玻璃和导电PI基片上制备了GaAs多晶薄膜,并在薄膜上应用电子束蒸发淀积了一层超薄的SiOx,然后采用PVD法在其上淀积一层金属薄层,制备出MIS结构的肖特基势垒.经测试Ag-SiOx-nGaAs结构和Au-SiOx-nGaAs结构的Ⅰ-Ⅴ特性,表明所制备的肖特基势垒具有良好的整流特性.
應用化學電共沉積法在Ti片、導電玻璃和導電PI基片上製備瞭GaAs多晶薄膜,併在薄膜上應用電子束蒸髮澱積瞭一層超薄的SiOx,然後採用PVD法在其上澱積一層金屬薄層,製備齣MIS結構的肖特基勢壘.經測試Ag-SiOx-nGaAs結構和Au-SiOx-nGaAs結構的Ⅰ-Ⅴ特性,錶明所製備的肖特基勢壘具有良好的整流特性.
응용화학전공침적법재Ti편、도전파리화도전PI기편상제비료GaAs다정박막,병재박막상응용전자속증발정적료일층초박적SiOx,연후채용PVD법재기상정적일층금속박층,제비출MIS결구적초특기세루.경측시Ag-SiOx-nGaAs결구화Au-SiOx-nGaAs결구적Ⅰ-Ⅴ특성,표명소제비적초특기세루구유량호적정류특성.
