计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2008年
z1期
31-35
,共5页
张晓%叶孝佑%孙双花%高宏堂%常海涛
張曉%葉孝祐%孫雙花%高宏堂%常海濤
장효%협효우%손쌍화%고굉당%상해도
计量学%光电显微镜%A/D转换%数据处理%瞄准精度
計量學%光電顯微鏡%A/D轉換%數據處理%瞄準精度
계량학%광전현미경%A/D전환%수거처리%묘준정도
介绍了基于高速A/D信号处理方法的系统组成和工作原理,包括对瞄准信号的模拟信号调理、A/D采样、数字信号处理等环节,能够实现2 nm的瞄准分辨率,可用于激光干涉比长仪的动态显微瞄准系统.通过实验验证了方法的可行性,即使在干扰较大的非理想波形信号的情况下也能得到对刻线瞄准的较高的重复性.
介紹瞭基于高速A/D信號處理方法的繫統組成和工作原理,包括對瞄準信號的模擬信號調理、A/D採樣、數字信號處理等環節,能夠實現2 nm的瞄準分辨率,可用于激光榦涉比長儀的動態顯微瞄準繫統.通過實驗驗證瞭方法的可行性,即使在榦擾較大的非理想波形信號的情況下也能得到對刻線瞄準的較高的重複性.
개소료기우고속A/D신호처리방법적계통조성화공작원리,포괄대묘준신호적모의신호조리、A/D채양、수자신호처리등배절,능구실현2 nm적묘준분변솔,가용우격광간섭비장의적동태현미묘준계통.통과실험험증료방법적가행성,즉사재간우교대적비이상파형신호적정황하야능득도대각선묘준적교고적중복성.
