物理学报
物理學報
물이학보
2005年
7期
3327-3331
,共5页
郝会颖%孔光临%曾湘波%许颖%刁宏伟%廖显伯
郝會穎%孔光臨%曾湘波%許穎%刁宏偉%廖顯伯
학회영%공광림%증상파%허영%조굉위%료현백
相变域硅薄膜%光电特性%太阳能电池
相變域硅薄膜%光電特性%太暘能電池
상변역규박막%광전특성%태양능전지
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)法,成功制备出从非晶到微晶过渡区域的硅薄膜.样品的微结构、光电特性及光致变化的测量结果表明这些处于相变域的硅薄膜兼具非晶硅优良的光电性质和微晶硅的稳定性.用这种两相结构的材料作为本征层制备了p-i-n太阳能电池,并测量了其稳定性.结果在AM1.5(100mW/cm2)的光强下曝光800-5000min后,开路电压略有升高,转换效率仅衰退了2.9%.
採用甚高頻等離子體增彊化學氣相沉積(VHF-PECVD)法,成功製備齣從非晶到微晶過渡區域的硅薄膜.樣品的微結構、光電特性及光緻變化的測量結果錶明這些處于相變域的硅薄膜兼具非晶硅優良的光電性質和微晶硅的穩定性.用這種兩相結構的材料作為本徵層製備瞭p-i-n太暘能電池,併測量瞭其穩定性.結果在AM1.5(100mW/cm2)的光彊下曝光800-5000min後,開路電壓略有升高,轉換效率僅衰退瞭2.9%.
채용심고빈등리자체증강화학기상침적(VHF-PECVD)법,성공제비출종비정도미정과도구역적규박막.양품적미결구、광전특성급광치변화적측량결과표명저사처우상변역적규박막겸구비정규우량적광전성질화미정규적은정성.용저충량상결구적재료작위본정층제비료p-i-n태양능전지,병측량료기은정성.결과재AM1.5(100mW/cm2)적광강하폭광800-5000min후,개로전압략유승고,전환효솔부쇠퇴료2.9%.
