微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2008年
6期
19-21
,共3页
王亚军%刘景全%沈修成%杨春生%郭中元%芮岳峰
王亞軍%劉景全%瀋脩成%楊春生%郭中元%芮嶽峰
왕아군%류경전%침수성%양춘생%곽중원%예악봉
生物MEMS%微流体系统%反应离子刻蚀%Parylene C
生物MEMS%微流體繫統%反應離子刻蝕%Parylene C
생물MEMS%미류체계통%반응리자각식%Parylene C
首先简要介绍了聚合物Parylene,并以Parylene C薄膜为原料,进行反应离子刻蚀,着重研究了功率和工作气压对刻蚀速率的影响,并给出了优化的刻蚀工艺参数.结果表明,刻蚀速率随功率增加而增大,当功率为80 W时,刻蚀速率达到0.44μm/min,适当增大功率有利于各向异性刻蚀.刻蚀速率在一定范围内随气压增大而增大,工作压力为10.67 Pa时,刻蚀速率达到0.47μm/min;当气压超过10.67 Pa后,刻蚀速率基本保持不变.
首先簡要介紹瞭聚閤物Parylene,併以Parylene C薄膜為原料,進行反應離子刻蝕,著重研究瞭功率和工作氣壓對刻蝕速率的影響,併給齣瞭優化的刻蝕工藝參數.結果錶明,刻蝕速率隨功率增加而增大,噹功率為80 W時,刻蝕速率達到0.44μm/min,適噹增大功率有利于各嚮異性刻蝕.刻蝕速率在一定範圍內隨氣壓增大而增大,工作壓力為10.67 Pa時,刻蝕速率達到0.47μm/min;噹氣壓超過10.67 Pa後,刻蝕速率基本保持不變.
수선간요개소료취합물Parylene,병이Parylene C박막위원료,진행반응리자각식,착중연구료공솔화공작기압대각식속솔적영향,병급출료우화적각식공예삼수.결과표명,각식속솔수공솔증가이증대,당공솔위80 W시,각식속솔체도0.44μm/min,괄당증대공솔유리우각향이성각식.각식속솔재일정범위내수기압증대이증대,공작압력위10.67 Pa시,각식속솔체도0.47μm/min;당기압초과10.67 Pa후,각식속솔기본보지불변.
