功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
10期
1835-1837,1841
,共4页
周艳军%何芳%王玉林%黄远%万怡灶
週豔軍%何芳%王玉林%黃遠%萬怡竈
주염군%하방%왕옥림%황원%만이조
溶胶凝胶法%离子注入%TiO2复合薄膜%Ge%光吸收
溶膠凝膠法%離子註入%TiO2複閤薄膜%Ge%光吸收
용효응효법%리자주입%TiO2복합박막%Ge%광흡수
采用磁控溅射和溶胶-凝胶两种方法在石英基体上制备了纯TiO2薄膜,并通过离子注入及溶胶掺杂方法分别对TiO2薄膜进行Ge掺杂改性.利用XRD、XPS及UV-Vis对两种TiO2复合薄膜的晶相结构、原子化学态以及光吸收性能进行了表征.结果表明,磁控溅射法制得TiO2薄膜为锐钛矿相,Ge离子注入引起复合薄膜的锐钛矿相消失,且该相600℃退火后并未得到恢复;经过退火后Ge在磁控溅射TiO2薄膜中以Ge单质存在.溶胶-凝胶法Ge掺杂复合薄膜中存在锐钛矿相TiO2和Ge晶相,Ge在薄膜表面以Ge和GeO2形式存在.两种掺杂方法制得的复合薄膜紫外-可见光吸收边均发生了红移.
採用磁控濺射和溶膠-凝膠兩種方法在石英基體上製備瞭純TiO2薄膜,併通過離子註入及溶膠摻雜方法分彆對TiO2薄膜進行Ge摻雜改性.利用XRD、XPS及UV-Vis對兩種TiO2複閤薄膜的晶相結構、原子化學態以及光吸收性能進行瞭錶徵.結果錶明,磁控濺射法製得TiO2薄膜為銳鈦礦相,Ge離子註入引起複閤薄膜的銳鈦礦相消失,且該相600℃退火後併未得到恢複;經過退火後Ge在磁控濺射TiO2薄膜中以Ge單質存在.溶膠-凝膠法Ge摻雜複閤薄膜中存在銳鈦礦相TiO2和Ge晶相,Ge在薄膜錶麵以Ge和GeO2形式存在.兩種摻雜方法製得的複閤薄膜紫外-可見光吸收邊均髮生瞭紅移.
채용자공천사화용효-응효량충방법재석영기체상제비료순TiO2박막,병통과리자주입급용효참잡방법분별대TiO2박막진행Ge참잡개성.이용XRD、XPS급UV-Vis대량충TiO2복합박막적정상결구、원자화학태이급광흡수성능진행료표정.결과표명,자공천사법제득TiO2박막위예태광상,Ge리자주입인기복합박막적예태광상소실,차해상600℃퇴화후병미득도회복;경과퇴화후Ge재자공천사TiO2박막중이Ge단질존재.용효-응효법Ge참잡복합박막중존재예태광상TiO2화Ge정상,Ge재박막표면이Ge화GeO2형식존재.량충참잡방법제득적복합박막자외-가견광흡수변균발생료홍이.
