稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2011年
2期
253-257
,共5页
辛荣生%林钰%蔡彬%胡斌
辛榮生%林鈺%蔡彬%鬍斌
신영생%림옥%채빈%호빈
磁控溅射%TiO2薄膜%润湿角%禁带宽度
磁控濺射%TiO2薄膜%潤濕角%禁帶寬度
자공천사%TiO2박막%윤습각%금대관도
采用反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备锐钛矿相TiO2薄膜,研究了工艺条件中的氧氩流量比对薄膜润湿角的影响以及溅射气压对薄膜微观结构的影响.对不同氧氩流量比(分别为1/40,1/20,1/10和1/5)时制备的TiO2薄膜进行润湿角测量,润湿角照片显明:氧氩比1/5时薄膜润湿角可减小到8°左右,即提高氧氩比能增强TiO2薄膜的自洁净性能.X射线衍射(XRD)分析表明:当溅射气压降到1.0 Pa时,可以得到锐钛矿型TiO2薄膜晶体,0.5Pa时的XRD图衍射峰更为明显.用分光光度计测量了TiO2薄膜的紫外吸收光谱.由光谱曲线上光吸收阈值与半导体带隙之间的关系计算出了TiO2薄膜的禁带宽度为3.42 eV,表明TiO2薄膜的吸收边出现了一定的蓝移.根据 XRD图谱计算TiO2薄膜的晶粒尺寸,得到的薄膜晶粒尺寸在十几纳米左右,由此说明了TiO2薄膜吸收边发生蓝移的原因;按照锐钛矿相TiO2薄膜XRD图25.3°衍射峰对应的(101)晶面,由Bragg方程计算出其晶面间距为0.3521 nm.表明TiO2薄膜晶体发生了一定的晶格畸变.
採用反應磁控濺射法在玻璃襯底上製備銳鈦礦相TiO2薄膜,研究瞭工藝條件中的氧氬流量比對薄膜潤濕角的影響以及濺射氣壓對薄膜微觀結構的影響.對不同氧氬流量比(分彆為1/40,1/20,1/10和1/5)時製備的TiO2薄膜進行潤濕角測量,潤濕角照片顯明:氧氬比1/5時薄膜潤濕角可減小到8°左右,即提高氧氬比能增彊TiO2薄膜的自潔淨性能.X射線衍射(XRD)分析錶明:噹濺射氣壓降到1.0 Pa時,可以得到銳鈦礦型TiO2薄膜晶體,0.5Pa時的XRD圖衍射峰更為明顯.用分光光度計測量瞭TiO2薄膜的紫外吸收光譜.由光譜麯線上光吸收閾值與半導體帶隙之間的關繫計算齣瞭TiO2薄膜的禁帶寬度為3.42 eV,錶明TiO2薄膜的吸收邊齣現瞭一定的藍移.根據 XRD圖譜計算TiO2薄膜的晶粒呎吋,得到的薄膜晶粒呎吋在十幾納米左右,由此說明瞭TiO2薄膜吸收邊髮生藍移的原因;按照銳鈦礦相TiO2薄膜XRD圖25.3°衍射峰對應的(101)晶麵,由Bragg方程計算齣其晶麵間距為0.3521 nm.錶明TiO2薄膜晶體髮生瞭一定的晶格畸變.
채용반응자공천사법재파리츤저상제비예태광상TiO2박막,연구료공예조건중적양아류량비대박막윤습각적영향이급천사기압대박막미관결구적영향.대불동양아류량비(분별위1/40,1/20,1/10화1/5)시제비적TiO2박막진행윤습각측량,윤습각조편현명:양아비1/5시박막윤습각가감소도8°좌우,즉제고양아비능증강TiO2박막적자길정성능.X사선연사(XRD)분석표명:당천사기압강도1.0 Pa시,가이득도예태광형TiO2박막정체,0.5Pa시적XRD도연사봉경위명현.용분광광도계측량료TiO2박막적자외흡수광보.유광보곡선상광흡수역치여반도체대극지간적관계계산출료TiO2박막적금대관도위3.42 eV,표명TiO2박막적흡수변출현료일정적람이.근거 XRD도보계산TiO2박막적정립척촌,득도적박막정립척촌재십궤납미좌우,유차설명료TiO2박막흡수변발생람이적원인;안조예태광상TiO2박막XRD도25.3°연사봉대응적(101)정면,유Bragg방정계산출기정면간거위0.3521 nm.표명TiO2박막정체발생료일정적정격기변.
