CAJ | 학술논문

采用高温化学气相沉积(HT-CVD)和中温化学气相沉积(MT-CVD)相结合的复合化学气相沉积新技术在硬质合金基体WC-(W,Ti)C-(Ta,Nb)C-6%Co上分别沉积TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN涂层,制备TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂层硬质合金.通过氧化实验,X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和显微硬度计等手段研究TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂层硬质合金的氧化行为.结果表明,涂层后硬质合金的抗氧化性能明显提高,Al2O3的加入能进一步提高CVD多层涂层硬质合金的抗氧化性能,并使涂层硬质合金表现出独特的氧化行为.Al2O3涂层的抗氧化机理为Al2O3具有良好的高温化学稳定性,能起到很好的隔热和阻碍氧扩散的作用.
채용고온화학기상침적(HT-CVD)화중온화학기상침적(MT-CVD)상결합적복합화학기상침적신기술재경질합금기체WC-(W,Ti)C-(Ta,Nb)C-6%Co상분별침적TiN/TiCN/TiN화TiN/TiCN/Al2O3/TiN도층,제비TiN/TiCN/TiN화TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD다층도층경질합금.통과양화실험,X사선연사의(XRD)、소묘전경(SEM)화현미경도계등수단연구TiN/TiCN/TiN화TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD다층도층경질합금적양화행위.결과표명,도층후경질합금적항양화성능명현제고,Al2O3적가입능진일보제고CVD다층도층경질합금적항양화성능,병사도층경질합금표현출독특적양화행위.Al2O3도층적항양화궤리위Al2O3구유량호적고온화학은정성,능기도흔호적격열화조애양확산적작용.