南昌大学学报（理科版）
南昌大學學報（理科版）
남창대학학보（이과판）
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2011年
1期
52-55
,共4页
赖珍荃%邹文祥%李海翼%刘文兴
賴珍荃%鄒文祥%李海翼%劉文興
뢰진전%추문상%리해익%류문흥
AIN薄膜%磁控溅射%溅射气压%透过率
AIN薄膜%磁控濺射%濺射氣壓%透過率
AIN박막%자공천사%천사기압%투과솔
采用DC反应磁控溅射法,在Si(111)和玻璃基底上成功的制备了AIN薄膜.研究溅射过程中溅射气压对薄膜性能的影响.结果表明:薄膜中原子比N/Al接近于1;当溅射气压低于0.6 Pa时,薄膜为非晶态;当溅射气压不低于0.6Pa时,薄膜的XRD图中均出现了6方相的AIN(100)、(110)和弱的(002)衍射峰,说明所制备的AIN薄膜为多晶态;气压为0.6 Pa时对应衍射峰的半高峰宽较小,薄膜的结晶性较好,随着溅射气压的继续增大,薄膜结晶性变差;在不同的溅射气压(0.6-1.0 Pa)下,MN薄膜在250-1000 nm波长范围内的透过率均在82%以上,且随溅射气压的增大略有升高.
採用DC反應磁控濺射法,在Si(111)和玻璃基底上成功的製備瞭AIN薄膜.研究濺射過程中濺射氣壓對薄膜性能的影響.結果錶明:薄膜中原子比N/Al接近于1;噹濺射氣壓低于0.6 Pa時,薄膜為非晶態;噹濺射氣壓不低于0.6Pa時,薄膜的XRD圖中均齣現瞭6方相的AIN(100)、(110)和弱的(002)衍射峰,說明所製備的AIN薄膜為多晶態;氣壓為0.6 Pa時對應衍射峰的半高峰寬較小,薄膜的結晶性較好,隨著濺射氣壓的繼續增大,薄膜結晶性變差;在不同的濺射氣壓(0.6-1.0 Pa)下,MN薄膜在250-1000 nm波長範圍內的透過率均在82%以上,且隨濺射氣壓的增大略有升高.
채용DC반응자공천사법,재Si(111)화파리기저상성공적제비료AIN박막.연구천사과정중천사기압대박막성능적영향.결과표명:박막중원자비N/Al접근우1;당천사기압저우0.6 Pa시,박막위비정태;당천사기압불저우0.6Pa시,박막적XRD도중균출현료6방상적AIN(100)、(110)화약적(002)연사봉,설명소제비적AIN박막위다정태;기압위0.6 Pa시대응연사봉적반고봉관교소,박막적결정성교호,수착천사기압적계속증대,박막결정성변차;재불동적천사기압(0.6-1.0 Pa)하,MN박막재250-1000 nm파장범위내적투과솔균재82%이상,차수천사기압적증대략유승고.
