光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
5期
1013-1021
,共9页
史永杰%郑堤%王龙山%胡利永
史永傑%鄭隄%王龍山%鬍利永
사영걸%정제%왕룡산%호리영
数控研抛%非球面%研抛力%研抛压力%磁流变力矩伺服装置
數控研拋%非毬麵%研拋力%研拋壓力%磁流變力矩伺服裝置
수공연포%비구면%연포력%연포압력%자류변력구사복장치
提出了一种基于磁流变力矩伺服装置(MRT)的研抛力控制方法来控制非球面数控研抛系统中的研抛力以实现恒压力研抛.研究了该方法的原理、模型、影响因素并研发了相应的实验研究系统.阐述了基于磁流变力矩伺服装置的研抛力控制原理;应用Preston方程分析了恒压力控制的重要性并基于Hertz理论建立了研抛压力模型,进而建立了研抛力控制模型,探讨了影响研抛力控制的主要因素;最后,规划了系统的研抛压力并进行了实验研究.实验结果表明,在研抛用时均为90 min的情况下,恒力研抛得到的非球面表面粗糙度为0.067 μm,表面粗糙度不均匀度为94.4%,而恒压力研抛得到的表面粗糙度为0.028μm,表面粗糙度不均匀度为11.4%,研抛质量和效率显著提高.该方法能够独立、主动、实时地控制研抛过程中的研抛力和研抛压力,实现非球面超精密、高效、低成本数控研抛.
提齣瞭一種基于磁流變力矩伺服裝置(MRT)的研拋力控製方法來控製非毬麵數控研拋繫統中的研拋力以實現恆壓力研拋.研究瞭該方法的原理、模型、影響因素併研髮瞭相應的實驗研究繫統.闡述瞭基于磁流變力矩伺服裝置的研拋力控製原理;應用Preston方程分析瞭恆壓力控製的重要性併基于Hertz理論建立瞭研拋壓力模型,進而建立瞭研拋力控製模型,探討瞭影響研拋力控製的主要因素;最後,規劃瞭繫統的研拋壓力併進行瞭實驗研究.實驗結果錶明,在研拋用時均為90 min的情況下,恆力研拋得到的非毬麵錶麵粗糙度為0.067 μm,錶麵粗糙度不均勻度為94.4%,而恆壓力研拋得到的錶麵粗糙度為0.028μm,錶麵粗糙度不均勻度為11.4%,研拋質量和效率顯著提高.該方法能夠獨立、主動、實時地控製研拋過程中的研拋力和研拋壓力,實現非毬麵超精密、高效、低成本數控研拋.
제출료일충기우자류변력구사복장치(MRT)적연포력공제방법래공제비구면수공연포계통중적연포력이실현항압력연포.연구료해방법적원리、모형、영향인소병연발료상응적실험연구계통.천술료기우자류변력구사복장치적연포력공제원리;응용Preston방정분석료항압력공제적중요성병기우Hertz이론건립료연포압력모형,진이건립료연포력공제모형,탐토료영향연포력공제적주요인소;최후,규화료계통적연포압력병진행료실험연구.실험결과표명,재연포용시균위90 min적정황하,항력연포득도적비구면표면조조도위0.067 μm,표면조조도불균균도위94.4%,이항압력연포득도적표면조조도위0.028μm,표면조조도불균균도위11.4%,연포질량화효솔현저제고.해방법능구독립、주동、실시지공제연포과정중적연포력화연포압력,실현비구면초정밀、고효、저성본수공연포.