微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2012年
3期
187-191
,共5页
刘建林%张斌珍%崔敏%张剑%季长红
劉建林%張斌珍%崔敏%張劍%季長紅
류건림%장빈진%최민%장검%계장홍
微透镜阵列%SU-8%光刻工艺%斜曝光%系统集成
微透鏡陣列%SU-8%光刻工藝%斜曝光%繫統集成
미투경진렬%SU-8%광각공예%사폭광%계통집성
以SU-8作为结构材料,采用紫外光刻工艺,尤其以斜曝光工艺为主,加工出主光轴平行于衬底基片的微透镜阵列,单个微透镜的直径大约为500 μm.初步确定出加工此透镜所需要的曝光剂量、前烘时间、后烘时间和显影时间,为加工其他尺寸的透镜提供参考.基于此方法加工的微透镜阵列能够对光束进行聚焦、反射、衍射、相位调制等控制,从而可最终实现光开关、衰减、扫描和成像等功能,为其他微型光学器件,如分光镜和反射镜等的系统集成提供极大的便利.同时,此微透镜阵列也会被集成在微流细胞仪中用来对流式细胞仪中样本流做荧光检测,极大地提高了检测的精度.
以SU-8作為結構材料,採用紫外光刻工藝,尤其以斜曝光工藝為主,加工齣主光軸平行于襯底基片的微透鏡陣列,單箇微透鏡的直徑大約為500 μm.初步確定齣加工此透鏡所需要的曝光劑量、前烘時間、後烘時間和顯影時間,為加工其他呎吋的透鏡提供參攷.基于此方法加工的微透鏡陣列能夠對光束進行聚焦、反射、衍射、相位調製等控製,從而可最終實現光開關、衰減、掃描和成像等功能,為其他微型光學器件,如分光鏡和反射鏡等的繫統集成提供極大的便利.同時,此微透鏡陣列也會被集成在微流細胞儀中用來對流式細胞儀中樣本流做熒光檢測,極大地提高瞭檢測的精度.
이SU-8작위결구재료,채용자외광각공예,우기이사폭광공예위주,가공출주광축평행우츤저기편적미투경진렬,단개미투경적직경대약위500 μm.초보학정출가공차투경소수요적폭광제량、전홍시간、후홍시간화현영시간,위가공기타척촌적투경제공삼고.기우차방법가공적미투경진렬능구대광속진행취초、반사、연사、상위조제등공제,종이가최종실현광개관、쇠감、소묘화성상등공능,위기타미형광학기건,여분광경화반사경등적계통집성제공겁대적편리.동시,차미투경진렬야회피집성재미류세포의중용래대류식세포의중양본류주형광검측,겁대지제고료검측적정도.
