激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2011年
6期
781-783,799
,共4页
赵涛%李清山%董艳锋%张立春%解晓君
趙濤%李清山%董豔鋒%張立春%解曉君
조도%리청산%동염봉%장립춘%해효군
薄膜%掺铜ZnO%脉冲激光沉积%氧压%光致发光
薄膜%摻銅ZnO%脈遲激光沉積%氧壓%光緻髮光
박막%참동ZnO%맥충격광침적%양압%광치발광
为了研究生长氧压对ZnO薄膜的结构和光学性质的影响,采用脉冲激光沉积技术,在P-Si〈111〉衬底上制备了不同生长氧压下的掺铜ZnO薄膜.利用X射线衍射仪对样品的结构进行了分析,并用荧光分光光度计对样品的光致发光谱进行了测量.结果表明,所有样品均在2θ=34.3°附近出现ZnO(002)衍射峰,没有发现Cu的衍射峰,在衬底温度为400℃、生长氧压为0.2Pa的条件下,样品有较好的c轴择优取向；室温下测得样品的光致发光谱中均观察到460hm(2.71eV)左右的蓝光发光带,该发光带来源于薄膜中的锌空位和锌填隙缺陷,属于深能级发射机制,并且随着氧压的升高,其发光强度增强.
為瞭研究生長氧壓對ZnO薄膜的結構和光學性質的影響,採用脈遲激光沉積技術,在P-Si〈111〉襯底上製備瞭不同生長氧壓下的摻銅ZnO薄膜.利用X射線衍射儀對樣品的結構進行瞭分析,併用熒光分光光度計對樣品的光緻髮光譜進行瞭測量.結果錶明,所有樣品均在2θ=34.3°附近齣現ZnO(002)衍射峰,沒有髮現Cu的衍射峰,在襯底溫度為400℃、生長氧壓為0.2Pa的條件下,樣品有較好的c軸擇優取嚮；室溫下測得樣品的光緻髮光譜中均觀察到460hm(2.71eV)左右的藍光髮光帶,該髮光帶來源于薄膜中的鋅空位和鋅填隙缺陷,屬于深能級髮射機製,併且隨著氧壓的升高,其髮光彊度增彊.
위료연구생장양압대ZnO박막적결구화광학성질적영향,채용맥충격광침적기술,재P-Si〈111〉츤저상제비료불동생장양압하적참동ZnO박막.이용X사선연사의대양품적결구진행료분석,병용형광분광광도계대양품적광치발광보진행료측량.결과표명,소유양품균재2θ=34.3°부근출현ZnO(002)연사봉,몰유발현Cu적연사봉,재츤저온도위400℃、생장양압위0.2Pa적조건하,양품유교호적c축택우취향；실온하측득양품적광치발광보중균관찰도460hm(2.71eV)좌우적람광발광대,해발광대래원우박막중적자공위화자전극결함,속우심능급발사궤제,병차수착양압적승고,기발광강도증강.
