金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2002年
9期
979-982
,共4页
施立群%晏国强%周筑颖%胡佩钢%罗顺中%丁伟
施立群%晏國彊%週築穎%鬍珮鋼%囉順中%丁偉
시립군%안국강%주축영%호패강%라순중%정위
Zr薄膜%氢化%等离子体
Zr薄膜%氫化%等離子體
Zr박막%경화%등리자체
本文研究Zr薄膜在等离子体作用下的氢化特性.测试表明,与分子氢相比,氢等离子体作用下氢化速率明显增高,在室温和≈2Pa氢压的DC放电条件下,氧化10 min样品的氢化浓度可达饱和值,即66.67(原子分数,%),远大于该压强下的气体氢化浓度.在非超清洁系统中,等离子体氢化在样品表面产生大量的氧污染和少量的碳污染.少量的表面氧化物并不阻碍等离子体氢化,但随着污染的增加,氢化浓度却大大减少.Ni对样品表面氢分子解离吸附和氢原子再结合逸出有着不同程度的催化作用,在低的放电压强和放电电流下,表面镀Ni使Zr的稳态氢化浓度减小;而在高压强、低电流下,表面镀Ni可增加Zr的氢化效率.
本文研究Zr薄膜在等離子體作用下的氫化特性.測試錶明,與分子氫相比,氫等離子體作用下氫化速率明顯增高,在室溫和≈2Pa氫壓的DC放電條件下,氧化10 min樣品的氫化濃度可達飽和值,即66.67(原子分數,%),遠大于該壓彊下的氣體氫化濃度.在非超清潔繫統中,等離子體氫化在樣品錶麵產生大量的氧汙染和少量的碳汙染.少量的錶麵氧化物併不阻礙等離子體氫化,但隨著汙染的增加,氫化濃度卻大大減少.Ni對樣品錶麵氫分子解離吸附和氫原子再結閤逸齣有著不同程度的催化作用,在低的放電壓彊和放電電流下,錶麵鍍Ni使Zr的穩態氫化濃度減小;而在高壓彊、低電流下,錶麵鍍Ni可增加Zr的氫化效率.
본문연구Zr박막재등리자체작용하적경화특성.측시표명,여분자경상비,경등리자체작용하경화속솔명현증고,재실온화≈2Pa경압적DC방전조건하,양화10 min양품적경화농도가체포화치,즉66.67(원자분수,%),원대우해압강하적기체경화농도.재비초청길계통중,등리자체경화재양품표면산생대량적양오염화소량적탄오염.소량적표면양화물병불조애등리자체경화,단수착오염적증가,경화농도각대대감소.Ni대양품표면경분자해리흡부화경원자재결합일출유착불동정도적최화작용,재저적방전압강화방전전류하,표면도Ni사Zr적은태경화농도감소;이재고압강、저전류하,표면도Ni가증가Zr적경화효솔.
