金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2002年
z1期
594-595
,共2页
陈平%李华%梁振锋%赵峰%苏东艺
陳平%李華%樑振鋒%趙峰%囌東藝
진평%리화%량진봉%조봉%소동예
磁控溅射%钛靶%粉末冶金
磁控濺射%鈦靶%粉末冶金
자공천사%태파%분말야금
概要介绍了用粉末冶金工艺制备磁控溅射沉积TiN膜用钛靶的方法,探讨了其技术、经济可行性.结果表明,该方法制备钛靶是可行的,并可推广应用于其它钛复合靶、钛合金、钛化合物靶制备.
概要介紹瞭用粉末冶金工藝製備磁控濺射沉積TiN膜用鈦靶的方法,探討瞭其技術、經濟可行性.結果錶明,該方法製備鈦靶是可行的,併可推廣應用于其它鈦複閤靶、鈦閤金、鈦化閤物靶製備.
개요개소료용분말야금공예제비자공천사침적TiN막용태파적방법,탐토료기기술、경제가행성.결과표명,해방법제비태파시가행적,병가추엄응용우기타태복합파、태합금、태화합물파제비.
