微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
7期
57-60
,共4页
陈迪%石磊%朱军%李建华%倪智萍%刘景全%李以贵
陳迪%石磊%硃軍%李建華%倪智萍%劉景全%李以貴
진적%석뢰%주군%리건화%예지평%류경전%리이귀
微弹簧%ANSYS%UV-LIGA
微彈簧%ANSYS%UV-LIGA
미탄황%ANSYS%UV-LIGA
微弹簧是一种重要的MEMS器件,可为微传感器和微执行器提供弹性力.我们设计并用UV-LIGA技术制备了数种不同形状的平面微弹簧,并用ANSYS对其力学性能如刚度、断裂强度等进行了模拟.由于制备出的平面微弹簧体积很小,无法用常规的测试仪器进行测试,我们为此设计并制备了一台平面微弹簧力学性能测试仪,其位移分辨率为1μm,力分辨率为1mN.模拟得出的结果与测量结果一致性较好,与闭环平面微弹簧相比,S型平面微弹簧具有较大的位移和较小的刚度,弹簧的刚度随着弹簧厚度的增加而增加.铜微弹簧的屈服强度和屈服位移仅为镍平面微弹簧的5%-7%.
微彈簧是一種重要的MEMS器件,可為微傳感器和微執行器提供彈性力.我們設計併用UV-LIGA技術製備瞭數種不同形狀的平麵微彈簧,併用ANSYS對其力學性能如剛度、斷裂彊度等進行瞭模擬.由于製備齣的平麵微彈簧體積很小,無法用常規的測試儀器進行測試,我們為此設計併製備瞭一檯平麵微彈簧力學性能測試儀,其位移分辨率為1μm,力分辨率為1mN.模擬得齣的結果與測量結果一緻性較好,與閉環平麵微彈簧相比,S型平麵微彈簧具有較大的位移和較小的剛度,彈簧的剛度隨著彈簧厚度的增加而增加.銅微彈簧的屈服彊度和屈服位移僅為鎳平麵微彈簧的5%-7%.
미탄황시일충중요적MEMS기건,가위미전감기화미집행기제공탄성력.아문설계병용UV-LIGA기술제비료수충불동형상적평면미탄황,병용ANSYS대기역학성능여강도、단렬강도등진행료모의.유우제비출적평면미탄황체적흔소,무법용상규적측시의기진행측시,아문위차설계병제비료일태평면미탄황역학성능측시의,기위이분변솔위1μm,력분변솔위1mN.모의득출적결과여측량결과일치성교호,여폐배평면미탄황상비,S형평면미탄황구유교대적위이화교소적강도,탄황적강도수착탄황후도적증가이증가.동미탄황적굴복강도화굴복위이부위얼평면미탄황적5%-7%.
