CAJ | 학술논문

InP以其众多的优越特性使之在许多高技术领域有广泛应用.掺硫n型InP材料用于激光器、LED、光放大器、光纤通信等光电领域.为了降低成本和适应新型器件制造的要求,本文进行了直径100mm掺硫InP单晶生长和性质研究.首先解决了大容量直接合成技术,其次解决了大直径单晶生长的关键技术,保证了一定的成晶率.采用降低温度梯度等措施,降低位错密度,提高晶体完整性.制备出100mm掺硫InP整锭〈100〉InP单晶和单晶片.经过测试其平均EPD小于5×104cm-2,载流子浓度大于3×1018cm-3.本文还对影响材料成晶的放肩角进行了研究,一般生长大直径单晶采用大于70.或平放肩技术都可以有效地避免孪晶的产生.
InP이기음다적우월특성사지재허다고기술영역유엄범응용.참류n형InP재료용우격광기、LED、광방대기、광섬통신등광전영역.위료강저성본화괄응신형기건제조적요구,본문진행료직경100mm참류InP단정생장화성질연구.수선해결료대용량직접합성기술,기차해결료대직경단정생장적관건기술,보증료일정적성정솔.채용강저온도제도등조시,강저위착밀도,제고정체완정성.제비출100mm참류InP정정〈100〉InP단정화단정편.경과측시기평균EPD소우5×104cm-2,재류자농도대우3×1018cm-3.본문환대영향재료성정적방견각진행료연구,일반생장대직경단정채용대우70.혹평방견기술도가이유효지피면련정적산생.