功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2005年
9期
1398-1400
,共3页
高旭辉%吕反修%魏俊俊%李成明%陈广超%余怀之
高旭輝%呂反脩%魏俊俊%李成明%陳廣超%餘懷之
고욱휘%려반수%위준준%리성명%진엄초%여부지
硫化锌(ZnS)%金刚石膜%陶瓷过渡层%诱导形核%微波等离子体CVD
硫化鋅(ZnS)%金剛石膜%陶瓷過渡層%誘導形覈%微波等離子體CVD
류화자(ZnS)%금강석막%도자과도층%유도형핵%미파등리자체CVD
采用微波等离子体化学气相沉积法,在预镀陶瓷过渡层的硫化锌衬底上沉积金刚石膜2在以前的实验中,我们发现在陶瓷过渡层上沉积金刚石膜极其困难,但采用金刚石诱导形核方法后,我们已经在过渡层/硫化锌试样表面获得了很小面积(约1mm宽的环状区域)的金刚石形核.本文对前期的诱导形核工作进行了一定改进,目前已经使形核生长范围大大增加,沉积面积超过原来10倍.此外,本文对金刚石/过渡层/硫化锌试样的红外透过特性以及金刚石膜质量等进行了评价.
採用微波等離子體化學氣相沉積法,在預鍍陶瓷過渡層的硫化鋅襯底上沉積金剛石膜2在以前的實驗中,我們髮現在陶瓷過渡層上沉積金剛石膜極其睏難,但採用金剛石誘導形覈方法後,我們已經在過渡層/硫化鋅試樣錶麵穫得瞭很小麵積(約1mm寬的環狀區域)的金剛石形覈.本文對前期的誘導形覈工作進行瞭一定改進,目前已經使形覈生長範圍大大增加,沉積麵積超過原來10倍.此外,本文對金剛石/過渡層/硫化鋅試樣的紅外透過特性以及金剛石膜質量等進行瞭評價.
채용미파등리자체화학기상침적법,재예도도자과도층적류화자츤저상침적금강석막2재이전적실험중,아문발현재도자과도층상침적금강석막겁기곤난,단채용금강석유도형핵방법후,아문이경재과도층/류화자시양표면획득료흔소면적(약1mm관적배상구역)적금강석형핵.본문대전기적유도형핵공작진행료일정개진,목전이경사형핵생장범위대대증가,침적면적초과원래10배.차외,본문대금강석/과도층/류화자시양적홍외투과특성이급금강석막질량등진행료평개.
