无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2006年
5期
1223-1229
,共7页
王忠华%李振豪%普朝光%杨培志%林猷慎
王忠華%李振豪%普朝光%楊培誌%林猷慎
왕충화%리진호%보조광%양배지%림유신
非制冷热释电红外探测器%PZT%籽晶层%快速分级退火
非製冷熱釋電紅外探測器%PZT%籽晶層%快速分級退火
비제랭열석전홍외탐측기%PZT%자정층%쾌속분급퇴화
采用溶胶-凝胶和射频磁控溅射相结合的方法制备了PZT铁电薄膜.用溶胶-凝胶法制备一层PZT薄膜作为籽晶层,在衬底PZT(seed layer)/Pt/Ti/SiO2/Si上用射频磁控溅射过量10%Pb的Pb(ZrxTi1-x)O3(x=0.3)陶瓷靶生长厚500nm的PZT铁电薄膜.采用在450℃预退火,575℃后退火的快速分级退火方法对PZT铁电薄膜进行热处理.PZT铁电薄膜获得了较好的热释电性能,热释电系数、介电常数、介电损耗和探测度优值因子分别为p=2.3×10-8C·cm-2.K-1,ε=500,tanδ=0.02,Fd=0.94×10-5Pa-0.5.
採用溶膠-凝膠和射頻磁控濺射相結閤的方法製備瞭PZT鐵電薄膜.用溶膠-凝膠法製備一層PZT薄膜作為籽晶層,在襯底PZT(seed layer)/Pt/Ti/SiO2/Si上用射頻磁控濺射過量10%Pb的Pb(ZrxTi1-x)O3(x=0.3)陶瓷靶生長厚500nm的PZT鐵電薄膜.採用在450℃預退火,575℃後退火的快速分級退火方法對PZT鐵電薄膜進行熱處理.PZT鐵電薄膜穫得瞭較好的熱釋電性能,熱釋電繫數、介電常數、介電損耗和探測度優值因子分彆為p=2.3×10-8C·cm-2.K-1,ε=500,tanδ=0.02,Fd=0.94×10-5Pa-0.5.
채용용효-응효화사빈자공천사상결합적방법제비료PZT철전박막.용용효-응효법제비일층PZT박막작위자정층,재츤저PZT(seed layer)/Pt/Ti/SiO2/Si상용사빈자공천사과량10%Pb적Pb(ZrxTi1-x)O3(x=0.3)도자파생장후500nm적PZT철전박막.채용재450℃예퇴화,575℃후퇴화적쾌속분급퇴화방법대PZT철전박막진행열처리.PZT철전박막획득료교호적열석전성능,열석전계수、개전상수、개전손모화탐측도우치인자분별위p=2.3×10-8C·cm-2.K-1,ε=500,tanδ=0.02,Fd=0.94×10-5Pa-0.5.
