CAJ | 학술논문

万方数据

核电子学与探测技术 핵전자학여탐측기술
NUCLEAR ELECTRONICS & DETECTION TECHNOLOGY
2006年 6期 703-705 ,共3页

谭继廉%靳根民%段利敏%卢子伟%袁小华%张玲%肖国青%徐瑚珊%田大宇%宁宝俊%王玮%张录

담계렴%근근민%단리민%로자위%원소화%장령%초국청%서호산%전대우%저보준%왕위%장록

平面工艺%硅多条%两维位置灵敏%探测器能量分辨%位置分辨平麵工藝%硅多條%兩維位置靈敏%探測器能量分辨%位置分辨
평면공예%규다조%량유위치령민%탐측기능량분변%위치분변

描述了用平面工艺技术研制基于硅多条的两维位置灵敏探测器的制备工艺技术及性能测试初步结果.这种探测器的灵敏面积为50 mm×50 mm.P掺杂面被等分成相互平行的长度为50mm,宽度为3mm的16条,相邻条之间的间隔为100μm.硅条P掺杂层是一层均匀分布的电阻层,利用电荷分除法,可以得到入射粒子在该条上的位置(Y位置).当探测器工作在全耗尽偏压下时,大部分单条的反向漏电流＜30nA.对239Pu α粒子得到能量分辨率＜2.5%,位置分辨＜0.5 mm.
묘술료용평면공예기술연제기우규다조적량유위치령민탐측기적제비공예기술급성능측시초보결과.저충탐측기적령민면적위50 mm×50 mm.P참잡면피등분성상호평행적장도위50mm,관도위3mm적16조,상린조지간적간격위100μm.규조P참잡층시일층균균분포적전조층,이용전하분제법,가이득도입사입자재해조상적위치(Y위치).당탐측기공작재전모진편압하시,대부분단조적반향루전류＜30nA.대239Pu α입자득도능량분변솔＜2.5%,위치분변＜0.5 mm.