中国科学E辑
中國科學E輯
중국과학E집
SCIENCE IN CHINA (SERIES E)
2006年
7期
733-740
,共8页
熊传兵%江风益%方文卿%王立%刘和初%莫春兰
熊傳兵%江風益%方文卿%王立%劉和初%莫春蘭
웅전병%강풍익%방문경%왕립%류화초%막춘란
GaN%LED%Si%外延片压焊%垂直结构
GaN%LED%Si%外延片壓銲%垂直結構
GaN%LED%Si%외연편압한%수직결구
利用外延片焊接技术,把Si(111)衬底上生长的GaN 蓝光LED外延材料压焊到新的Si衬底上.在去除原Si衬底和外延材料中缓冲层后,制备了垂直结构GaN 蓝光LED.与外延材料未转移的同侧结构相比,转移后的垂直结构GaN 蓝光LED的电学性能、发光性能和结构性能明显改善,光输出功率显著提高.垂直结构LED的GaN层受到的张应力比同侧结构LED小.
利用外延片銲接技術,把Si(111)襯底上生長的GaN 藍光LED外延材料壓銲到新的Si襯底上.在去除原Si襯底和外延材料中緩遲層後,製備瞭垂直結構GaN 藍光LED.與外延材料未轉移的同側結構相比,轉移後的垂直結構GaN 藍光LED的電學性能、髮光性能和結構性能明顯改善,光輸齣功率顯著提高.垂直結構LED的GaN層受到的張應力比同側結構LED小.
이용외연편한접기술,파Si(111)츤저상생장적GaN 람광LED외연재료압한도신적Si츤저상.재거제원Si츤저화외연재료중완충층후,제비료수직결구GaN 람광LED.여외연재료미전이적동측결구상비,전이후적수직결구GaN 람광LED적전학성능、발광성능화결구성능명현개선,광수출공솔현저제고.수직결구LED적GaN층수도적장응력비동측결구LED소.
