AZO透明导电薄膜的制备技术及应用进展
AZO투명도전박막적제비기술급응용진전
PREPARATION AND APPLICATION OF TRANSPARENT CONDUCTIVE AZO THIN FILM
  • 万方数据
    真空与低温 진공여저온
    VACUUM AND CRYOGENICS
    2007年 1期 1-5,20 ,共6页

    刘玉萍%陈枫%郭爱波%李斌%但敏%刘明海%胡希伟

    류옥평%진풍%곽애파%리빈%단민%류명해%호희위

    AZO薄膜%制备技术%综述%透明导电氧化物薄膜 AZO薄膜%製備技術%綜述%透明導電氧化物薄膜
    AZO박막%제비기술%종술%투명도전양화물박막
    概述了国内外AZO透明导电薄膜的多种制备技术和开发应用进展.详细介绍了磁控溅射、溶胶-凝胶、脉冲激光沉积、真空蒸镀、化学气相沉积等工艺在AZO薄膜制备中的研究现状,并且在对AZO膜与ITO膜性能比较的基础上,指出AZO薄膜的产业化前景好.
    개술료국내외AZO투명도전박막적다충제비기술화개발응용진전.상세개소료자공천사、용효-응효、맥충격광침적、진공증도、화학기상침적등공예재AZO박막제비중적연구현상,병차재대AZO막여ITO막성능비교적기출상,지출AZO박막적산업화전경호.
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