真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2007年
1期
41-44,50
,共5页
陈伟伟%陈立新%宋家乐%景晨丽%王汝敏
陳偉偉%陳立新%宋傢樂%景晨麗%王汝敏
진위위%진립신%송가악%경신려%왕여민
微机电系统%微加工技术%聚合物前驱体%陶瓷
微機電繫統%微加工技術%聚閤物前驅體%陶瓷
미궤전계통%미가공기술%취합물전구체%도자
陶瓷材料作为一种在高温和腐蚀等苛刻环境中应用的重要材料,对其制备和加工技术进行研究是非常必要的.本文在简要概述传统微机电系统(MEMS)加工技术对制备陶瓷MEMS存在的不足基础上,着重介绍了由聚合物前驱体转化法制备陶瓷MEMS的制备方法、工艺流程、优缺点及未来发展方向.
陶瓷材料作為一種在高溫和腐蝕等苛刻環境中應用的重要材料,對其製備和加工技術進行研究是非常必要的.本文在簡要概述傳統微機電繫統(MEMS)加工技術對製備陶瓷MEMS存在的不足基礎上,著重介紹瞭由聚閤物前驅體轉化法製備陶瓷MEMS的製備方法、工藝流程、優缺點及未來髮展方嚮.
도자재료작위일충재고온화부식등가각배경중응용적중요재료,대기제비화가공기술진행연구시비상필요적.본문재간요개술전통미궤전계통(MEMS)가공기술대제비도자MEMS존재적불족기출상,착중개소료유취합물전구체전화법제비도자MEMS적제비방법、공예류정、우결점급미래발전방향.
