陕西科技大学学报（自然科学版）
陝西科技大學學報（自然科學版）
협서과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHAANXI UNIVERSITY OF SCIENCE & TECHNOLOGY
2007年
2期
58-62
,共5页
sol-gel%ZAO薄膜%红外发射率%红外隐身
sol-gel%ZAO薄膜%紅外髮射率%紅外隱身
sol-gel%ZAO박막%홍외발사솔%홍외은신
采用溶胶-凝胶工艺在石英玻璃基底上制备了ZAO(掺铝氧化锌)薄膜,系统研究了各工艺参数,如溶胶浓度、Al掺杂量及热处理温度对其结构和性能的影响.XRD分析结果表明,ZAO薄膜具有ZnO晶体结构并具有沿(002)晶面择优生长的特性.SEM结果显示,所制薄膜的晶粒尺寸约为50 nm,浸涂1次溶胶所得薄膜的厚度约为2.6 μm.溶胶浓度为0.3 mol·L-1,掺杂Al为3 at.%的薄膜试样在700℃热处理后,8～14 μm波段的平均红外发射率降至0.568.
採用溶膠-凝膠工藝在石英玻璃基底上製備瞭ZAO(摻鋁氧化鋅)薄膜,繫統研究瞭各工藝參數,如溶膠濃度、Al摻雜量及熱處理溫度對其結構和性能的影響.XRD分析結果錶明,ZAO薄膜具有ZnO晶體結構併具有沿(002)晶麵擇優生長的特性.SEM結果顯示,所製薄膜的晶粒呎吋約為50 nm,浸塗1次溶膠所得薄膜的厚度約為2.6 μm.溶膠濃度為0.3 mol·L-1,摻雜Al為3 at.%的薄膜試樣在700℃熱處理後,8～14 μm波段的平均紅外髮射率降至0.568.
채용용효-응효공예재석영파리기저상제비료ZAO(참려양화자)박막,계통연구료각공예삼수,여용효농도、Al참잡량급열처리온도대기결구화성능적영향.XRD분석결과표명,ZAO박막구유ZnO정체결구병구유연(002)정면택우생장적특성.SEM결과현시,소제박막적정립척촌약위50 nm,침도1차용효소득박막적후도약위2.6 μm.용효농도위0.3 mol·L-1,참잡Al위3 at.%적박막시양재700℃열처리후,8～14 μm파단적평균홍외발사솔강지0.568.
