轻金属
輕金屬
경금속
LIGHT METALS
2010年
5期
45-49
,共5页
王克功%韩涛%佘顺利%梁佰战
王剋功%韓濤%佘順利%樑佰戰
왕극공%한도%사순리%량백전
CVD%高纯钛%工业化%沉淀速率%杂质含量
CVD%高純鈦%工業化%沉澱速率%雜質含量
CVD%고순태%공업화%침정속솔%잡질함량
CVD法制备高纯钛过程中,高纯钛沉积速率和杂质含量是制约其规模化生产的主要原因.本文对沉积速率和杂质含量的影响因素进行了分析,发现影响沉积速率的主要因素是:真空度、温度以及加碘方式.影响杂质含量的主要因素是真空度、温度、TiI2蒸汽压以及海绵钛的质量.
CVD法製備高純鈦過程中,高純鈦沉積速率和雜質含量是製約其規模化生產的主要原因.本文對沉積速率和雜質含量的影響因素進行瞭分析,髮現影響沉積速率的主要因素是:真空度、溫度以及加碘方式.影響雜質含量的主要因素是真空度、溫度、TiI2蒸汽壓以及海綿鈦的質量.
CVD법제비고순태과정중,고순태침적속솔화잡질함량시제약기규모화생산적주요원인.본문대침적속솔화잡질함량적영향인소진행료분석,발현영향침적속솔적주요인소시:진공도、온도이급가전방식.영향잡질함량적주요인소시진공도、온도、TiI2증기압이급해면태적질량.
