光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
9期
46-49,54
,共5页
殷可为%黄智强%林妩媚%邢廷文
慇可為%黃智彊%林嫵媚%邢廷文
은가위%황지강%림무미%형정문
衍射光学元件%二元光学元件%横向误差%衍射效率%标量衍射理论%MATLAB
衍射光學元件%二元光學元件%橫嚮誤差%衍射效率%標量衍射理論%MATLAB
연사광학원건%이원광학원건%횡향오차%연사효솔%표량연사이론%MATLAB
横向加工误差包括对准误差和线宽误差,加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题.本文基于标量衍射理论,提出了一种与MATLAB相结合的分层计算方法,重点分析了4阶和8阶二元光学元件横向加工误差和衍射效率的关系.结果表明,控制8阶二元光学元件对准误差,可抑制衍射效率的迅速下降,适当调整线宽能够减小对准误差造成的影响.这些结果对二元光学元件的加工有重要的参考价值.该方法简便且适用性强,可对二元光学元件的加工误差进行准确分析.
橫嚮加工誤差包括對準誤差和線寬誤差,加工誤差對衍射效率的影響是二元光學元件研究的重要問題.本文基于標量衍射理論,提齣瞭一種與MATLAB相結閤的分層計算方法,重點分析瞭4階和8階二元光學元件橫嚮加工誤差和衍射效率的關繫.結果錶明,控製8階二元光學元件對準誤差,可抑製衍射效率的迅速下降,適噹調整線寬能夠減小對準誤差造成的影響.這些結果對二元光學元件的加工有重要的參攷價值.該方法簡便且適用性彊,可對二元光學元件的加工誤差進行準確分析.
횡향가공오차포괄대준오차화선관오차,가공오차대연사효솔적영향시이원광학원건연구적중요문제.본문기우표량연사이론,제출료일충여MATLAB상결합적분층계산방법,중점분석료4계화8계이원광학원건횡향가공오차화연사효솔적관계.결과표명,공제8계이원광학원건대준오차,가억제연사효솔적신속하강,괄당조정선관능구감소대준오차조성적영향.저사결과대이원광학원건적가공유중요적삼고개치.해방법간편차괄용성강,가대이원광학원건적가공오차진행준학분석.
