武汉理工大学学报（信息与管理工程版）
武漢理工大學學報（信息與管理工程版）
무한리공대학학보（신식여관리공정판）
JOURNAL OF WUHAN AUTOMOTIVE POLYTECHNIC UNIVERSITY
2011年
5期
698-701
,共4页
激光干涉%调制检测%压电陶瓷%条纹锁定
激光榦涉%調製檢測%壓電陶瓷%條紋鎖定
격광간섭%조제검측%압전도자%조문쇄정
为测量λ/4波长以下位移,研制了激光干涉条纹锁定系统.将干涉仪的工作点稳定在暗点,使其具有线性好和灵敏度高等优点.该系统由激光器及稳频装置、干涉系统、检测及控制电路、位移反馈执行机构(压电陶瓷),以及数据采集系统组成.实验结果表明,所研制的干涉条纹锁定系统在0～0.5 Hz的频带内,其干涉仪的分辨度达到λ/1 500水平；而在0～50 Hz的频带内,其干涉仪的分辨度达到λ/400水平.频谱分析表明,在0.1 Hz和5 Hz时的分辨度分别为7×10-11m/√Hz和1×10-11m/√Hz.
為測量λ/4波長以下位移,研製瞭激光榦涉條紋鎖定繫統.將榦涉儀的工作點穩定在暗點,使其具有線性好和靈敏度高等優點.該繫統由激光器及穩頻裝置、榦涉繫統、檢測及控製電路、位移反饋執行機構(壓電陶瓷),以及數據採集繫統組成.實驗結果錶明,所研製的榦涉條紋鎖定繫統在0～0.5 Hz的頻帶內,其榦涉儀的分辨度達到λ/1 500水平；而在0～50 Hz的頻帶內,其榦涉儀的分辨度達到λ/400水平.頻譜分析錶明,在0.1 Hz和5 Hz時的分辨度分彆為7×10-11m/√Hz和1×10-11m/√Hz.
위측량λ/4파장이하위이,연제료격광간섭조문쇄정계통.장간섭의적공작점은정재암점,사기구유선성호화령민도고등우점.해계통유격광기급은빈장치、간섭계통、검측급공제전로、위이반궤집행궤구(압전도자),이급수거채집계통조성.실험결과표명,소연제적간섭조문쇄정계통재0～0.5 Hz적빈대내,기간섭의적분변도체도λ/1 500수평；이재0～50 Hz적빈대내,기간섭의적분변도체도λ/400수평.빈보분석표명,재0.1 Hz화5 Hz시적분변도분별위7×10-11m/√Hz화1×10-11m/√Hz.
