微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2002年
5期
25-27
,共3页
多孔铝%阳极氧化%纳米
多孔鋁%暘極氧化%納米
다공려%양겁양화%납미
介绍了阳极氧化方法制备纳米多孔铝的技术.阳极氧化多孔铝由于孔径可以控制在纳米尺度,因而在半导体纳米线料的制备方面具有广泛的用途.
介紹瞭暘極氧化方法製備納米多孔鋁的技術.暘極氧化多孔鋁由于孔徑可以控製在納米呎度,因而在半導體納米線料的製備方麵具有廣汎的用途.
개소료양겁양화방법제비납미다공려적기술.양겁양화다공려유우공경가이공제재납미척도,인이재반도체납미선료적제비방면구유엄범적용도.