中国稀土学报
中國稀土學報
중국희토학보
JOURNAL OF THE CHINESE RARE EARTH SOCIETY
2011年
3期
365-370
,共6页
二氧化硅-氧化铈复合氧化物%硅片%抛光%稀土
二氧化硅-氧化鈰複閤氧化物%硅片%拋光%稀土
이양화규-양화시복합양화물%규편%포광%희토
用合成的SiO2-CeO2复合氧化物对单晶硅片进行抛光,测定其抛光速率与制备条件及浆料配制条件之间的关系.结果表明:经800℃煅烧后制得的硅铈摩尔比nsio2:nceo2为2:1的复合氧化物对硅片具有最大的抛蚀速率.与此同时,选用三乙醇胺和六偏磷酸钠分别作为浆料的pH调节剂和分散剂可以获得理想的浆料分散性和悬浮稳定性.确定了抛光浆料的最佳pH值和固含量分别为11和4%.
用閤成的SiO2-CeO2複閤氧化物對單晶硅片進行拋光,測定其拋光速率與製備條件及漿料配製條件之間的關繫.結果錶明:經800℃煅燒後製得的硅鈰摩爾比nsio2:nceo2為2:1的複閤氧化物對硅片具有最大的拋蝕速率.與此同時,選用三乙醇胺和六偏燐痠鈉分彆作為漿料的pH調節劑和分散劑可以穫得理想的漿料分散性和懸浮穩定性.確定瞭拋光漿料的最佳pH值和固含量分彆為11和4%.
용합성적SiO2-CeO2복합양화물대단정규편진행포광,측정기포광속솔여제비조건급장료배제조건지간적관계.결과표명:경800℃단소후제득적규시마이비nsio2:nceo2위2:1적복합양화물대규편구유최대적포식속솔.여차동시,선용삼을순알화륙편린산납분별작위장료적pH조절제화분산제가이획득이상적장료분산성화현부은정성.학정료포광장료적최가pH치화고함량분별위11화4%.
