计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2010年
z2期
112-115
,共4页
计量学%压力基准%移相干涉%孔径测量%白光干涉
計量學%壓力基準%移相榦涉%孔徑測量%白光榦涉
계량학%압력기준%이상간섭%공경측량%백광간섭
介绍了一种应用移相干涉法测量精密活塞内径的方法,并研制了高精度活塞内径测量仪.利用一等量块与平面平晶研合形成的标准具作为标准,采用白光干涉定位、激光干涉测长与移相干涉技术结合的位移测量技术方案实现了活塞内径的高精度非接触自动测量.实验结果表明,该仪器在(10～100)mm测量范围内,测量分辨率为1nm,测量结果的标准偏差不大于50nm.
介紹瞭一種應用移相榦涉法測量精密活塞內徑的方法,併研製瞭高精度活塞內徑測量儀.利用一等量塊與平麵平晶研閤形成的標準具作為標準,採用白光榦涉定位、激光榦涉測長與移相榦涉技術結閤的位移測量技術方案實現瞭活塞內徑的高精度非接觸自動測量.實驗結果錶明,該儀器在(10～100)mm測量範圍內,測量分辨率為1nm,測量結果的標準偏差不大于50nm.
개소료일충응용이상간섭법측량정밀활새내경적방법,병연제료고정도활새내경측량의.이용일등량괴여평면평정연합형성적표준구작위표준,채용백광간섭정위、격광간섭측장여이상간섭기술결합적위이측량기술방안실현료활새내경적고정도비접촉자동측량.실험결과표명,해의기재(10～100)mm측량범위내,측량분변솔위1nm,측량결과적표준편차불대우50nm.
