光机电信息
光機電信息
광궤전신식
OME INFORMATION
2007年
9期
34-37
,共4页
闭磁场%光学薄膜%磁控溅射
閉磁場%光學薄膜%磁控濺射
폐자장%광학박막%자공천사
介绍了一种制备高质量光学薄膜的新型闭磁场磁控溅射技术.该技术具有高束流密度和低内应力,可以在高沉积速率条件下制备性能极佳的精密光学薄膜.采用精密的单轴圆鼓基板系统,可显著提高批量镀膜的能力.
介紹瞭一種製備高質量光學薄膜的新型閉磁場磁控濺射技術.該技術具有高束流密度和低內應力,可以在高沉積速率條件下製備性能極佳的精密光學薄膜.採用精密的單軸圓鼓基闆繫統,可顯著提高批量鍍膜的能力.
개소료일충제비고질량광학박막적신형폐자장자공천사기술.해기술구유고속류밀도화저내응력,가이재고침적속솔조건하제비성능겁가적정밀광학박막.채용정밀적단축원고기판계통,가현저제고비량도막적능력.
