微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2012年
2期
108-112
,共5页
谌贵辉%刘建生%李礼%杨帆
諶貴輝%劉建生%李禮%楊帆
심귀휘%류건생%리례%양범
微电子机械系统(MEMS)%加速度传感器%闭环系统%仿真%地震勘探
微電子機械繫統(MEMS)%加速度傳感器%閉環繫統%倣真%地震勘探
미전자궤계계통(MEMS)%가속도전감기%폐배계통%방진%지진감탐
MEMS加速度传感器大幅提高了新型地震检波器的各项性能指标.利用有限元软件AN-SYS建立了悬臂硅梁的力学模型,并通过其力学性能仿真,得出优化的设计结构尺寸,即梁长L=150μm,梁宽b=40μm,梁厚h=4μm,活动电极和固定电极的间距d0取为1μm.同时利用电路仿真软件建立了传感器闭环系统的整体仿真数学模型,仿真结果表明其阶跃响应和正弦响应基本和理论分析结果吻合,传感器的分辨率可达0.001m/s2,频带宽度可达500MHz.该基于MEMS加速度传感器的新型地震检波器在地震勘探中将具有广阔的应用前景.
MEMS加速度傳感器大幅提高瞭新型地震檢波器的各項性能指標.利用有限元軟件AN-SYS建立瞭懸臂硅樑的力學模型,併通過其力學性能倣真,得齣優化的設計結構呎吋,即樑長L=150μm,樑寬b=40μm,樑厚h=4μm,活動電極和固定電極的間距d0取為1μm.同時利用電路倣真軟件建立瞭傳感器閉環繫統的整體倣真數學模型,倣真結果錶明其階躍響應和正絃響應基本和理論分析結果吻閤,傳感器的分辨率可達0.001m/s2,頻帶寬度可達500MHz.該基于MEMS加速度傳感器的新型地震檢波器在地震勘探中將具有廣闊的應用前景.
MEMS가속도전감기대폭제고료신형지진검파기적각항성능지표.이용유한원연건AN-SYS건립료현비규량적역학모형,병통과기역학성능방진,득출우화적설계결구척촌,즉량장L=150μm,량관b=40μm,량후h=4μm,활동전겁화고정전겁적간거d0취위1μm.동시이용전로방진연건건립료전감기폐배계통적정체방진수학모형,방진결과표명기계약향응화정현향응기본화이론분석결과문합,전감기적분변솔가체0.001m/s2,빈대관도가체500MHz.해기우MEMS가속도전감기적신형지진검파기재지진감탐중장구유엄활적응용전경.
