传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
3期
81-84
,共4页
蒙成%童筱钧%方颀%刘铎
矇成%童篠鈞%方頎%劉鐸
몽성%동소균%방기%류탁
LiCl%石英晶体微天平%湿敏特性%线性度%重复性
LiCl%石英晶體微天平%濕敏特性%線性度%重複性
LiCl%석영정체미천평%습민특성%선성도%중복성
对0.2％质量比LiCl薄膜涂层的QCM湿度传感单元湿敏特性进行了系统性的研究.研究结果表明:0.2％质量比LiCl-QCM的湿度传感单元的线性测量范围为13％～94％ RH,克服了常规LiCl湿敏材料传感单元量程窄的缺点.另外,此湿度传感单元还具有重复性好、灵敏度高、湿滞小(小于10 Hz)、数字频率化输出等优点,因而,具有较好的潜在应用前景.
對0.2％質量比LiCl薄膜塗層的QCM濕度傳感單元濕敏特性進行瞭繫統性的研究.研究結果錶明:0.2％質量比LiCl-QCM的濕度傳感單元的線性測量範圍為13％～94％ RH,剋服瞭常規LiCl濕敏材料傳感單元量程窄的缺點.另外,此濕度傳感單元還具有重複性好、靈敏度高、濕滯小(小于10 Hz)、數字頻率化輸齣等優點,因而,具有較好的潛在應用前景.
대0.2％질량비LiCl박막도층적QCM습도전감단원습민특성진행료계통성적연구.연구결과표명:0.2％질량비LiCl-QCM적습도전감단원적선성측량범위위13％～94％ RH,극복료상규LiCl습민재료전감단원량정착적결점.령외,차습도전감단원환구유중복성호、령민도고、습체소(소우10 Hz)、수자빈솔화수출등우점,인이,구유교호적잠재응용전경.
