电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2000年
4期
35-38
,共4页
双面曝光机%双面对准%原理%比较%分析
雙麵曝光機%雙麵對準%原理%比較%分析
쌍면폭광궤%쌍면대준%원리%비교%분석
根据国内外双面对准曝光机中双面对准曝光技术及工艺的发展,系统地对目前国内外典型的几种双面对准原理进行了比较与分析.
根據國內外雙麵對準曝光機中雙麵對準曝光技術及工藝的髮展,繫統地對目前國內外典型的幾種雙麵對準原理進行瞭比較與分析.
근거국내외쌍면대준폭광궤중쌍면대준폭광기술급공예적발전,계통지대목전국내외전형적궤충쌍면대준원리진행료비교여분석.
