灰阶掩模实现光学邻近校正及计算模拟研究
회계엄모실현광학린근교정급계산모의연구
OPC with Grey Level Mask and Its Computer Simulation Study
  • 万方数据
    光学学报 광학학보
    ACTA OPTICA SINICA
    1999年 5期 698-702 ,共5页

    杜惊雷%黄奇忠%姚军%粟敬钦%郭永康%崔铮%沈锋

    두량뢰%황기충%요군%속경흠%곽영강%최쟁%침봉

    光学邻近效应校正%灰阶掩模%灰阶衬线 光學鄰近效應校正%灰階掩模%灰階襯線
    광학린근효응교정%회계엄모%회계츤선
    从光学邻近效应产生机理出发, 提出用带灰阶衬线的灰阶掩模实现光学邻近效应精细校正的新方法, 并指出掩模图形振幅信息的优化, 即合理分布掩模图形的空间频谱, 可以改善空间像的光强分布并获得高质量的光刻图样. 计算表明, 校正后的成像图样与理想像的偏差小于0.9%.
    종광학린근효응산생궤리출발, 제출용대회계츤선적회계엄모실현광학린근효응정세교정적신방법, 병지출엄모도형진폭신식적우화, 즉합리분포엄모도형적공간빈보, 가이개선공간상적광강분포병획득고질량적광각도양. 계산표명, 교정후적성상도양여이상상적편차소우0.9%.
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