微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2000年
3期
6-11
,共6页
硅基纳米材料%制备技术%可见光发射
硅基納米材料%製備技術%可見光髮射
규기납미재료%제비기술%가견광발사
近年,硅基低维材料物理与工艺的研究预示,硅基光电子学将是今后半导体光电子学的一个主要发展方向,而对硅基纳米材料的研究一直是本领域的一个研究热点,评述了近年硅基纳米材料在制备技术方面所取得的新进展,并展望了今后的发展方向.
近年,硅基低維材料物理與工藝的研究預示,硅基光電子學將是今後半導體光電子學的一箇主要髮展方嚮,而對硅基納米材料的研究一直是本領域的一箇研究熱點,評述瞭近年硅基納米材料在製備技術方麵所取得的新進展,併展望瞭今後的髮展方嚮.
근년,규기저유재료물리여공예적연구예시,규기광전자학장시금후반도체광전자학적일개주요발전방향,이대규기납미재료적연구일직시본영역적일개연구열점,평술료근년규기납미재료재제비기술방면소취득적신진전,병전망료금후적발전방향.
