中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
6期
542-545
,共4页
微机械%微摩擦%表面形貌%弹性变形
微機械%微摩抆%錶麵形貌%彈性變形
미궤계%미마찰%표면형모%탄성변형
针对微机电系统存在的问题,阐述了微摩擦的测试方法以及表面形貌对微机械中摩擦性能的影响,试验研究了表面形貌对介于宏观和微观之间摩擦行为的影响.试验用研磨的方法在硅片表面制作了不同宽度的条纹,通过UMT微摩擦测试仪研究了在不同速度和载荷下氮化硅陶瓷球和试样间的摩擦行为.试验表明,在硅片上制作出合适的条纹有助于降低摩擦系数,在低载低速下出现了测力梁突然释放弹性变形能的情况,使得摩擦力和载荷不稳定,而且随着表面条纹间距增大,这种现象的频率也越来越高,并通过理论分析解释了这些现象.
針對微機電繫統存在的問題,闡述瞭微摩抆的測試方法以及錶麵形貌對微機械中摩抆性能的影響,試驗研究瞭錶麵形貌對介于宏觀和微觀之間摩抆行為的影響.試驗用研磨的方法在硅片錶麵製作瞭不同寬度的條紋,通過UMT微摩抆測試儀研究瞭在不同速度和載荷下氮化硅陶瓷毬和試樣間的摩抆行為.試驗錶明,在硅片上製作齣閤適的條紋有助于降低摩抆繫數,在低載低速下齣現瞭測力樑突然釋放彈性變形能的情況,使得摩抆力和載荷不穩定,而且隨著錶麵條紋間距增大,這種現象的頻率也越來越高,併通過理論分析解釋瞭這些現象.
침대미궤전계통존재적문제,천술료미마찰적측시방법이급표면형모대미궤계중마찰성능적영향,시험연구료표면형모대개우굉관화미관지간마찰행위적영향.시험용연마적방법재규편표면제작료불동관도적조문,통과UMT미마찰측시의연구료재불동속도화재하하담화규도자구화시양간적마찰행위.시험표명,재규편상제작출합괄적조문유조우강저마찰계수,재저재저속하출현료측력량돌연석방탄성변형능적정황,사득마찰력화재하불은정,이차수착표면조문간거증대,저충현상적빈솔야월래월고,병통과이론분석해석료저사현상.
