CAJ | 학술논문

用电子束蒸发、离子束辅助、反应磁控溅射三种方法在石英衬底上制备了氧化铪薄膜.利用掠角X射线衍射和扫描电镜分析了不同制备工艺条件下氧化铪薄膜的晶体结构和显微结构,用紫外.可见分光光度计、椭偏仪、和纳米硬度计分别测试了不同制备工艺条件下氧化铪薄膜的可见透射光谱、光学常数和硬度.结果表明薄膜的晶体结构、显微结构、光学性能和硬度等都与制备工艺有着密切的关系,电子束蒸发制备的薄膜为非晶相,而离子束辅助和反应磁控溅射制备的薄膜为多晶相,三种方法制备的氧化铪薄膜都为柱状结构,电子束蒸发和离子束辅助制备的薄膜色散严重,但反应磁控溅射制备的薄膜吸收较大,反应磁控溅射制备薄膜的硬度远大于电子束蒸发和离子束辅助制备薄膜的硬度.并分别用薄膜成核长大热力学原理和薄膜结构区域模型解释了不同工艺条件下氧化铪薄膜晶体结构和显微结构不同的原因.
용전자속증발、리자속보조、반응자공천사삼충방법재석영츤저상제비료양화협박막.이용략각X사선연사화소묘전경분석료불동제비공예조건하양화협박막적정체결구화현미결구,용자외.가견분광광도계、타편의、화납미경도계분별측시료불동제비공예조건하양화협박막적가견투사광보、광학상수화경도.결과표명박막적정체결구、현미결구、광학성능화경도등도여제비공예유착밀절적관계,전자속증발제비적박막위비정상,이리자속보조화반응자공천사제비적박막위다정상,삼충방법제비적양화협박막도위주상결구,전자속증발화리자속보조제비적박막색산엄중,단반응자공천사제비적박막흡수교대,반응자공천사제비박막적경도원대우전자속증발화리자속보조제비박막적경도.병분별용박막성핵장대열역학원리화박막결구구역모형해석료불동공예조건하양화협박막정체결구화현미결구불동적원인.