液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2011年
2期
170-173
,共4页
四次掩模%复合层%刻蚀%信号线%金属残留
四次掩模%複閤層%刻蝕%信號線%金屬殘留
사차엄모%복합층%각식%신호선%금속잔류
在TFT-LCD阵列的四次掩模技术中,复合层刻蚀是非常难控制的一道工序,最突出的问题是在复合层刻蚀后信号线的两边有金属残留,金属残留会对之后的绝缘层产生影响,导致断层等不良.调整复合层刻蚀工艺是目前解决金属残留问题的通用方法,但是都没有根本地解决这个问题.文章通过研究信号线刻蚀时间对复合层刻蚀后金属残留的影响,认为通过调整信号线的刻蚀时间能够根本解决复合层刻蚀后金属残留的问题,并且不会使金属线线宽超出控制范围.
在TFT-LCD陣列的四次掩模技術中,複閤層刻蝕是非常難控製的一道工序,最突齣的問題是在複閤層刻蝕後信號線的兩邊有金屬殘留,金屬殘留會對之後的絕緣層產生影響,導緻斷層等不良.調整複閤層刻蝕工藝是目前解決金屬殘留問題的通用方法,但是都沒有根本地解決這箇問題.文章通過研究信號線刻蝕時間對複閤層刻蝕後金屬殘留的影響,認為通過調整信號線的刻蝕時間能夠根本解決複閤層刻蝕後金屬殘留的問題,併且不會使金屬線線寬超齣控製範圍.
재TFT-LCD진렬적사차엄모기술중,복합층각식시비상난공제적일도공서,최돌출적문제시재복합층각식후신호선적량변유금속잔류,금속잔류회대지후적절연층산생영향,도치단층등불량.조정복합층각식공예시목전해결금속잔류문제적통용방법,단시도몰유근본지해결저개문제.문장통과연구신호선각식시간대복합층각식후금속잔류적영향,인위통과조정신호선적각식시간능구근본해결복합층각식후금속잔류적문제,병차불회사금속선선관초출공제범위.
