光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2009年
1期
120-124
,共5页
陈铭勇%杜惊雷%郭小伟%马延琴%王景全
陳銘勇%杜驚雷%郭小偉%馬延琴%王景全
진명용%두량뢰%곽소위%마연금%왕경전
无掩模光刻%反射光调制器件%光刻物镜%光学设计
無掩模光刻%反射光調製器件%光刻物鏡%光學設計
무엄모광각%반사광조제기건%광각물경%광학설계
为了研究数字灰度光刻成像系统中栅格效应对像质的影响.在成像系统优化参量已有的研究基础上,综合考虑工作效率、光刻准确度、加工制造成本等因素,设计了一种能够有效消除数字灰度光刻成像栅格效应的光刻物镜.此光刻物镜技术指标为,数值孔径NA＝0.3,工作波长λ＝442 nm,倍率10×,分辨率R≤1.2 μm,焦深4 μm,且镜片数量少,光学加工、光学校装公差要求低.结果表明,该镜头完全满足数字灰度光刻高质量成像的需要.
為瞭研究數字灰度光刻成像繫統中柵格效應對像質的影響.在成像繫統優化參量已有的研究基礎上,綜閤攷慮工作效率、光刻準確度、加工製造成本等因素,設計瞭一種能夠有效消除數字灰度光刻成像柵格效應的光刻物鏡.此光刻物鏡技術指標為,數值孔徑NA＝0.3,工作波長λ＝442 nm,倍率10×,分辨率R≤1.2 μm,焦深4 μm,且鏡片數量少,光學加工、光學校裝公差要求低.結果錶明,該鏡頭完全滿足數字灰度光刻高質量成像的需要.
위료연구수자회도광각성상계통중책격효응대상질적영향.재성상계통우화삼량이유적연구기출상,종합고필공작효솔、광각준학도、가공제조성본등인소,설계료일충능구유효소제수자회도광각성상책격효응적광각물경.차광각물경기술지표위,수치공경NA＝0.3,공작파장λ＝442 nm,배솔10×,분변솔R≤1.2 μm,초심4 μm,차경편수량소,광학가공、광학교장공차요구저.결과표명,해경두완전만족수자회도광각고질량성상적수요.
