激光杂志
激光雜誌
격광잡지
LASER JOURNAL
2009年
1期
51-52
,共2页
离子束刻蚀%反应离子束刻蚀%情形模拟%占宽比
離子束刻蝕%反應離子束刻蝕%情形模擬%佔寬比
리자속각식%반응리자속각식%정형모의%점관비
在啁啾光纤光栅相位掩模的制作中,针对光刻胶光栅槽形要求比较高的问题,提出离子束刻蚀和反应离子束刻蚀相结合的方法,来实现对相位掩模槽形占宽比的控制.运用高级线段运动算法模拟分析刻蚀中的图形演化,用Ar离子束刻蚀对光刻胶光栅掩模形貌进行修正,然后采用CHF3反应离子束刻蚀,实验和模拟均表明,Ar离子束刻蚀能很好的改善掩模与基片交界处的基片侧壁形貌,使得在CHF3反应离子束刻蚀下能得到较小的占宽比.对槽形控制提供了有意义的实验手段.
在啁啾光纖光柵相位掩模的製作中,針對光刻膠光柵槽形要求比較高的問題,提齣離子束刻蝕和反應離子束刻蝕相結閤的方法,來實現對相位掩模槽形佔寬比的控製.運用高級線段運動算法模擬分析刻蝕中的圖形縯化,用Ar離子束刻蝕對光刻膠光柵掩模形貌進行脩正,然後採用CHF3反應離子束刻蝕,實驗和模擬均錶明,Ar離子束刻蝕能很好的改善掩模與基片交界處的基片側壁形貌,使得在CHF3反應離子束刻蝕下能得到較小的佔寬比.對槽形控製提供瞭有意義的實驗手段.
재조추광섬광책상위엄모적제작중,침대광각효광책조형요구비교고적문제,제출리자속각식화반응리자속각식상결합적방법,래실현대상위엄모조형점관비적공제.운용고급선단운동산법모의분석각식중적도형연화,용Ar리자속각식대광각효광책엄모형모진행수정,연후채용CHF3반응리자속각식,실험화모의균표명,Ar리자속각식능흔호적개선엄모여기편교계처적기편측벽형모,사득재CHF3반응리자속각식하능득도교소적점관비.대조형공제제공료유의의적실험수단.
