中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2011年
4期
70-75
,共6页
原子力显微镜%摩擦力标定%楔形标定法%聚焦离子束刻蚀
原子力顯微鏡%摩抆力標定%楔形標定法%聚焦離子束刻蝕
원자력현미경%마찰력표정%설형표정법%취초리자속각식
原子力显微镜(AFM)摩擦力的标定是利用AFM测量微载荷下表面间摩擦力需要解决的一个难题.传统的Ogletree楔形标定法没有考虑表面黏着力对摩擦力的影响,当载荷较小时,标定出的摩擦因数与真实值相比偏小.文中在Ogletree法的基础上,推导出一种原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法.利用改进楔形法,分别在标准光栅和聚焦离子束刻蚀(FIB)加工出的斜坡样品上对摩擦力进行了标定.试验结果表明,与常用的标准光栅相比,利用聚焦离子束刻蚀出的样品能够得到更多的有效数据,标定结果更为准确.将改进楔形法和Ogletree法的标定结果进行了比较,结果表明,在载荷较低时(＜6 μN),改进楔形法更为准确；载荷较高时(＞6 μN),Ogletree法与改进楔形法得到的结果相近.改进楔形法是一种更为准确的原子力显微镜摩擦力标定的方法.
原子力顯微鏡(AFM)摩抆力的標定是利用AFM測量微載荷下錶麵間摩抆力需要解決的一箇難題.傳統的Ogletree楔形標定法沒有攷慮錶麵黏著力對摩抆力的影響,噹載荷較小時,標定齣的摩抆因數與真實值相比偏小.文中在Ogletree法的基礎上,推導齣一種原子力顯微鏡摩抆力標定的改進楔形法.利用改進楔形法,分彆在標準光柵和聚焦離子束刻蝕(FIB)加工齣的斜坡樣品上對摩抆力進行瞭標定.試驗結果錶明,與常用的標準光柵相比,利用聚焦離子束刻蝕齣的樣品能夠得到更多的有效數據,標定結果更為準確.將改進楔形法和Ogletree法的標定結果進行瞭比較,結果錶明,在載荷較低時(＜6 μN),改進楔形法更為準確；載荷較高時(＞6 μN),Ogletree法與改進楔形法得到的結果相近.改進楔形法是一種更為準確的原子力顯微鏡摩抆力標定的方法.
원자력현미경(AFM)마찰력적표정시이용AFM측량미재하하표면간마찰력수요해결적일개난제.전통적Ogletree설형표정법몰유고필표면점착력대마찰력적영향,당재하교소시,표정출적마찰인수여진실치상비편소.문중재Ogletree법적기출상,추도출일충원자력현미경마찰력표정적개진설형법.이용개진설형법,분별재표준광책화취초리자속각식(FIB)가공출적사파양품상대마찰력진행료표정.시험결과표명,여상용적표준광책상비,이용취초리자속각식출적양품능구득도경다적유효수거,표정결과경위준학.장개진설형법화Ogletree법적표정결과진행료비교,결과표명,재재하교저시(＜6 μN),개진설형법경위준학；재하교고시(＞6 μN),Ogletree법여개진설형법득도적결과상근.개진설형법시일충경위준학적원자력현미경마찰력표정적방법.
