材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
13期
65-69
,共5页
晋玉剑%薛晨阳%丑修建%刘俊%张文栋
晉玉劍%薛晨暘%醜脩建%劉俊%張文棟
진옥검%설신양%축수건%류준%장문동
光波导%微谐振腔%高Q值%微光机电系统
光波導%微諧振腔%高Q值%微光機電繫統
광파도%미해진강%고Q치%미광궤전계통
基于高Q值环形波导微谐振腔和微加工工艺的微光机电器件及系统是当前微纳制造科学和量子光学技术领域的研究热点.主要分析了环形波导微谐振腔的物理作用及应用价值,系统综述了环形波导微谐振腔Q值的测量方法,重点讨论了硅基环形波导微谐振腔Q值的影响因素,从材料、结构设计、加工工艺方面分析了提高环形波导微谐振腔Q值的技术途径,指出了当前高Q值环形波导微谐振腔研究存在的技术瓶颈问题,并展望了未来的发展趋势.
基于高Q值環形波導微諧振腔和微加工工藝的微光機電器件及繫統是噹前微納製造科學和量子光學技術領域的研究熱點.主要分析瞭環形波導微諧振腔的物理作用及應用價值,繫統綜述瞭環形波導微諧振腔Q值的測量方法,重點討論瞭硅基環形波導微諧振腔Q值的影響因素,從材料、結構設計、加工工藝方麵分析瞭提高環形波導微諧振腔Q值的技術途徑,指齣瞭噹前高Q值環形波導微諧振腔研究存在的技術瓶頸問題,併展望瞭未來的髮展趨勢.
기우고Q치배형파도미해진강화미가공공예적미광궤전기건급계통시당전미납제조과학화양자광학기술영역적연구열점.주요분석료배형파도미해진강적물리작용급응용개치,계통종술료배형파도미해진강Q치적측량방법,중점토론료규기배형파도미해진강Q치적영향인소,종재료、결구설계、가공공예방면분석료제고배형파도미해진강Q치적기술도경,지출료당전고Q치배형파도미해진강연구존재적기술병경문제,병전망료미래적발전추세.
