功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
z3期
449-451
,共3页
AlN%中频反应溅射%Raman光谱
AlN%中頻反應濺射%Raman光譜
AlN%중빈반응천사%Raman광보
通过中频磁控反应溅射,在Si(100)衬底上沉积AlN薄膜,并用X射线衍射、扫描电子显微镜和Raman光谱表征AlN薄膜的微观特征.实验中,研究了氮分压、靶基距、溅射功率对AlN薄膜质量的影响,并优化参数制备高质量的c轴取向的AlN薄膜.结果表明,提高溅射功率、降低靶基距以及降低氮分压,有利于c轴择优取向AlN的生长.在优化条件下制备的AlN薄膜具有高度c轴取向,(002)摇摆曲线的半高宽为5.7°,Raman光谱E2(high)声子峰的FWHM为13.8cm-1.
通過中頻磁控反應濺射,在Si(100)襯底上沉積AlN薄膜,併用X射線衍射、掃描電子顯微鏡和Raman光譜錶徵AlN薄膜的微觀特徵.實驗中,研究瞭氮分壓、靶基距、濺射功率對AlN薄膜質量的影響,併優化參數製備高質量的c軸取嚮的AlN薄膜.結果錶明,提高濺射功率、降低靶基距以及降低氮分壓,有利于c軸擇優取嚮AlN的生長.在優化條件下製備的AlN薄膜具有高度c軸取嚮,(002)搖襬麯線的半高寬為5.7°,Raman光譜E2(high)聲子峰的FWHM為13.8cm-1.
통과중빈자공반응천사,재Si(100)츤저상침적AlN박막,병용X사선연사、소묘전자현미경화Raman광보표정AlN박막적미관특정.실험중,연구료담분압、파기거、천사공솔대AlN박막질량적영향,병우화삼수제비고질량적c축취향적AlN박막.결과표명,제고천사공솔、강저파기거이급강저담분압,유리우c축택우취향AlN적생장.재우화조건하제비적AlN박막구유고도c축취향,(002)요파곡선적반고관위5.7°,Raman광보E2(high)성자봉적FWHM위13.8cm-1.
