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2010年
30期
16
,共1页
紫外反射膜%多层膜%导纳特征矩阵法%防护罩%数值分析
紫外反射膜%多層膜%導納特徵矩陣法%防護罩%數值分析
자외반사막%다층막%도납특정구진법%방호조%수치분석
常见的小型等离子溅射仪是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器.针对其辉光放电,对实验人员产生隐性紫外线伤害的问题,本文介绍了基于TiO2-SiO2薄膜的紫外反射膜的设计过程.通过优化获得了380nm～400nm近紫外波段具有高反射的溅射仪防护罩紫外隔离膜的参数,得出了最优化的膜层组合,为低成本地制备性能稳定、高可见光透射,高紫外线隔离的新型溅射仪防护罩紫外隔离膜提供了参考.
常見的小型等離子濺射儀是配閤中小型掃描電子顯微鏡製樣必備的儀器.針對其輝光放電,對實驗人員產生隱性紫外線傷害的問題,本文介紹瞭基于TiO2-SiO2薄膜的紫外反射膜的設計過程.通過優化穫得瞭380nm～400nm近紫外波段具有高反射的濺射儀防護罩紫外隔離膜的參數,得齣瞭最優化的膜層組閤,為低成本地製備性能穩定、高可見光透射,高紫外線隔離的新型濺射儀防護罩紫外隔離膜提供瞭參攷.
상견적소형등리자천사의시배합중소형소묘전자현미경제양필비적의기.침대기휘광방전,대실험인원산생은성자외선상해적문제,본문개소료기우TiO2-SiO2박막적자외반사막적설계과정.통과우화획득료380nm～400nm근자외파단구유고반사적천사의방호조자외격리막적삼수,득출료최우화적막층조합,위저성본지제비성능은정、고가견광투사,고자외선격리적신형천사의방호조자외격리막제공료삼고.
